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1200℃三溫區(qū)管式爐(溫區(qū)610mm,可選石英管和法蘭60-130mm)
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1200℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐(可選1或2英寸石英管和法蘭)
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1800℃小型真空管式爐 (60mm外徑,康耐爾1800級硅鉬棒)
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1750℃桌面式真空氣氛管式爐(60mm外徑,康耐爾1800級硅鉬棒)
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1100℃石英管式爐(50mm爐管,帶溫度校準器和真空泵)
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1400℃箱式爐(3.4L,爐腔尺寸:150*150*150mm)
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導電陶瓷隔膜
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6um厚Cu箔
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甲基吡咯烷酮
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導電石墨粉
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1200度旋轉粉末ALD系統(tǒng)
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普通加熱平臺
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線切割機搖擺機構
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鑄鋁拋光盤
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彈性樣品夾
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精確磨拋控制儀
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自動壓力研磨拋光機
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自動精密研磨拋光機
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定向CVD生長爐
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1700℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐(配73mm氧化鋁管和防腐真空計)
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真空儲存罐70mL
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雙工位定向儀
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磁性材料研制設備
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真空旋轉涂層機