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1200℃小型分體式 真空管式爐 （130mm管徑）
關(guān)鍵字：
單溫區(qū)、真空、分體式
型號(hào)：
OTF-1200X-5S
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開(kāi)啟式管式爐，其最高工作溫度可以達(dá)到1100℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置50段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對(duì)5英寸的晶片進(jìn)行退火。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

1200℃小型分體式真空管式爐（130mm管徑）--OTF-1200X-5S 
產(chǎn)品提示

1、危險(xiǎn)設(shè)備使用提示    2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/a>    3、配件妥善保管提示    4.多型號(hào)可選提示
主要特點(diǎn)

·5英寸的石英管和鉸鏈法蘭，寬大的腔體可作為箱式氣氛爐用（避免了箱式爐爐膛污染問(wèn)題）

·可用于四英寸基片退火

·可以作為模塊，DIY ALD CVD PVD 蒸發(fā)爐 回轉(zhuǎn)爐等（具體請(qǐng)致電）

·采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率

·采用ABB電器元件

注：鉸鏈法蘭選配

主要特點(diǎn)1-水印.gif 主要特點(diǎn)2-水印.gif 主要特點(diǎn)3.jpg 主要特點(diǎn)4.jpg 主要特點(diǎn)5.jpg



特別推薦：視頻會(huì)議產(chǎn)品展示（請(qǐng)點(diǎn)擊此鏈接）
相關(guān)視頻

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           操作視頻                     拆裝熱電偶
基本參數(shù)

·工作溫度：1100℃（＜0.5小時(shí)） 

·連續(xù)工作溫度：1000℃

·建議加熱速率：≦10℃/min

·加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm 

·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金

·電壓：AC 220V 50Hz 

·功率：3KW

·熱電偶：K型

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系我們
爐體結(jié)構(gòu)

·配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封

·石英管尺寸：Φ130×750mm

·配有2個(gè)氧化鋁管堵，使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性

·右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵

·真空度：10-2torr (采用機(jī)械泵) 

·安裝有一機(jī)械壓力表，測(cè)量范圍為-0.1～0.15MP

·采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序

·帶有超溫和斷偶保護(hù)


     圖片1.png  爐體結(jié)構(gòu)6.png 
溫控系統(tǒng)

·包含一款YD858P型溫度控制器；

·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)；

·智能化50段可編程控制；

·內(nèi)置過(guò)熱保護(hù)和熱電偶故障報(bào)警；

·控溫精度：±1℃；

·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口；

·通過(guò)MET認(rèn)證；

·可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；

圖片2.png
真空系統(tǒng)（選配）

·采用雙旋片式機(jī)械泵真空度可以達(dá)到10-2toor

·如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

 圖片3.png 
外形尺寸

·爐蓋關(guān)閉尺寸：440mm（長(zhǎng)）×440mm（寬）×460mm（高）

·帶法蘭支撐（每個(gè)260mm），總長(zhǎng)：960mm（長(zhǎng)）×440mm（寬）×460mm（高）

·爐蓋打開(kāi)尺寸：440mm（長(zhǎng)）×440mm（寬）×700mm（高）

·帶法蘭支撐（每個(gè)260mm），總長(zhǎng)：960mm（長(zhǎng)）×650mm（寬）×700mm（高）

·溫度控制器單位：260mm（長(zhǎng)）×350mm（寬）×410mm（高）

重量：約48KG


外形尺寸.jpg
認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證

  證書編號(hào)： M.2021.206.C67997

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

圖片1.png
質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

· 特別提示：

1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
產(chǎn)品在線展示

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點(diǎn)擊圖片預(yù)約

點(diǎn)擊圖片預(yù)約

點(diǎn)擊圖片預(yù)約

科晶實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備做出的部分結(jié)果，以供您參考。

以下數(shù)據(jù)僅針對(duì)合肥科晶設(shè)備，不具有普遍性。如果您想了解詳細(xì)實(shí)驗(yàn)方法，請(qǐng)聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室索取詳細(xì)實(shí)驗(yàn)報(bào)告。同時(shí)歡迎您帶著材料重復(fù)下列參數(shù)。

硅鋼退火

        實(shí)驗(yàn)室案例1.png

Nb2O5粉（未處理前）      Nb2O5粉（處理后）

   實(shí)驗(yàn)室案例2.png       實(shí)驗(yàn)室案例3.png

熱處理硅片

主要特點(diǎn)2-水印.gif實(shí)驗(yàn)室案例4.jpg


Poster—粉末冶金（鈦片退火）.jpg

1642400367(1).jpg




相關(guān)可選

配置可選1.jpg

可選購(gòu)5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架

備注：鉸鏈法蘭

配置可選2.png


可選購(gòu)數(shù)顯防腐真空計(jì)

配置可選5.png


您可能需要在真空端部安裝一個(gè)手動(dòng)擋板閥

配置可選8.png

可選購(gòu)歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃。

配置可選3.jpg                   配置可選4.jpg


可選購(gòu)石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空

配置可選13.png

可選購(gòu)MTS02-B控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序

配件可選6.png                        配件可選7.jpg


可選購(gòu)鎧裝K型熱電偶，通過(guò)法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測(cè)量樣品的實(shí)際溫度

     配置可選9.png             配置可選10.png             配置可選11.png


可選配件12.png


您可以訂購(gòu)帶真空泵和溫度校準(zhǔn)套件的爐子


相關(guān)產(chǎn)品
公司簡(jiǎn)介

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