設(shè)備名稱 | 0.7L等離子清洗機(jī)(配真空計(jì),3"Dx 6.5"L石英腔室,13.56Mhz)-PDC-36G (2019.11.26—科晶實(shí)驗(yàn)室審核) |
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產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 |
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相關(guān)視頻 | 操作視頻 |
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設(shè)備特點(diǎn) | ·結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器 ·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物。 ·在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好。 ·鉸鏈?zhǔn)介T,方便裝樣 ·石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個(gè)石英舟,最大清洗一個(gè)2英寸的基片。 ·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換 ·使用可調(diào)射頻電源,可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別;低成本、操作安全。 |
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主要參數(shù) | ·等離子直流電源:
·射頻源輸出頻率:13.56MHz; ·輸入電壓:220V,50Hz; ·壓力范圍:1-1999TOrr; 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 |
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機(jī)體結(jié)構(gòu) | 等離子腔室:·直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體,前蓋可以開(kāi)啟。 ·高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長(zhǎng)。 閥門:·1/8英寸針閥控制進(jìn)氣。 ·1/8英寸三通球閥控制氣體進(jìn)出。 真空計(jì):設(shè)備標(biāo)配一個(gè)電阻規(guī)和數(shù)顯電阻真空計(jì)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。 |
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工作氣體 | ·多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。 ·可以使用<4%的H2混合惰性氣體 |
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等離子清洗及刻蝕的方法 | |||||||||||||
工作原理 | |||||||||||||
外形尺寸 | ·353mm(L)x380mm(W)x225mm (H) |
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凈重 | (不含泵)8kg |
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質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū) |
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認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證 證書(shū)編號(hào):M.2021.206.C67994 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
科晶應(yīng)用技術(shù)實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備清洗基片,清除表面污染物,以供參考。
清洗前向基片上滴入0.05ml水滴,其結(jié)果如圖所示。通入氬氣清洗十分鐘后,向基片上滴入0.05ml水滴,其結(jié)果如圖所示。 | ||
石英 | 圖1 清洗前 | 圖2 清洗后 |
硅片 | 圖3 清洗前 | 圖4 清洗后 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | 1、使用時(shí)間不建議超過(guò)一小時(shí)。 2、如果清洗機(jī)腔室,不能立即充氣,油會(huì)回流到腔室污染系統(tǒng)。真空泵需安裝防回油裝置。 3、為保護(hù)設(shè)備,設(shè)備工作后能立即關(guān)機(jī),但關(guān)機(jī)后最好在10秒后再開(kāi)機(jī)工作。 4、腔室需定期進(jìn)行清洗。 |
警示 | 1、腔室內(nèi)不能 通入正壓。 2、真空狀態(tài)下不要打開(kāi)前級(jí)法蘭,防止損壞玻璃室。 5、此設(shè)備不能使用可燃性、腐蝕性及有毒有害氣體。 |
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