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0.7L等離子清洗機(jī) (配真空計(jì),3"Dx 6.5"L石英腔室,13.56Mhz)
關(guān)鍵字:
3英寸 等離子 基片清洗
型號(hào):
PDC-36G
產(chǎn)品概述:
PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下,去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前進(jìn)行預(yù)處理,對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用 。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

0.7L等離子清洗機(jī)(配真空計(jì),3"Dx 6.5"L石英腔室,13.56Mhz)-PDC-36G (2019.11.26—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

相關(guān)視頻

QQ截圖20191126111812.jpg

       操作視頻

設(shè)備特點(diǎn)

·結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器

·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物。

·在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好。

·鉸鏈?zhǔn)介T,方便裝樣

·石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個(gè)石英舟,最大清洗一個(gè)2英寸的基片。

·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換

·使用可調(diào)射頻電源,可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別;低成本、操作安全。


圖片1.jpg    圖片2.jpg    圖片3.jpg

主要參數(shù)

·等離子直流電源:

低功率設(shè)定

直流680V

10mA

6.8W

中功率設(shè)定

直流700V

15mA

10.5W

高功率設(shè)定

直流720V

25mA

18W

·射頻源輸出頻率:13.56MHz;

·輸入電壓:220V,50Hz;

·壓力范圍:1-1999TOrr;



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

機(jī)體結(jié)構(gòu)

等離子腔室:·直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體,前蓋可以開(kāi)啟。

            ·高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長(zhǎng)。

閥門:·1/8英寸針閥控制進(jìn)氣。

      ·1/8英寸三通球閥控制氣體進(jìn)出。

真空計(jì):設(shè)備標(biāo)配一個(gè)電阻規(guī)和數(shù)顯電阻真空計(jì)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。


圖片4.jpg

工作氣體

·多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。

·可以使用<4%的H2混合惰性氣體

等離子清洗及刻蝕的方法

工作原理

等離子清洗機(jī)工作原理

外形尺寸

·353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)


圖片4.jpg

凈重

(不含泵)8kg

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)

認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證

  證書(shū)編號(hào):M.2021.206.C67994

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)-6.jpg


科晶應(yīng)用技術(shù)實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備清洗基片,清除表面污染物,以供參考。


清洗前向基片上滴入0.05ml水滴,其結(jié)果如圖所示。通入氬氣清洗十分鐘后,向基片上滴入0.05ml水滴,其結(jié)果如圖所示。

石英

圖片5.jpg

圖1

清洗前

圖片6.jpg

圖2

清洗后

硅片

圖片7.jpg

圖3

清洗前

圖片8.jpg

圖4

清洗后


應(yīng)用技術(shù)提示

1、使用時(shí)間不建議超過(guò)一小時(shí)。

2、如果清洗機(jī)腔室,不能立即充氣,油會(huì)回流到腔室污染系統(tǒng)。真空泵需安裝防回油裝置。

3、為保護(hù)設(shè)備,設(shè)備工作后能立即關(guān)機(jī),但關(guān)機(jī)后最好在10秒后再開(kāi)機(jī)工作。  

4、腔室需定期進(jìn)行清洗。          

警示

1、腔室內(nèi)不能 通入正壓。

2、真空狀態(tài)下不要打開(kāi)前級(jí)法蘭,防止損壞玻璃室。

5、此設(shè)備不能使用可燃性、腐蝕性及有毒有害氣體。


可選配件

1、您可以訂購(gòu)額外的石英腔體,用于備用。

2、如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案,PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合。


圖片9.jpg

3、您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片。


圖片10.jpg

4、您可選配雙極旋片式真空泵進(jìn)行抽真空。


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相關(guān)產(chǎn)品
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