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1700℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐（配73mm氧化鋁管和防腐真空計(jì)）
關(guān)鍵字：
單溫區(qū) 三通道
型號：
GSL-1700X-F3LV
產(chǎn)品概述：
GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，最高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
管式爐結(jié)構(gòu)

· 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根) 
最高工作溫度

1650℃（<2h）（更新時(shí)間：19.12.10--JS2）

1600℃（長期工作溫度）
最大升溫速率

 5℃/min
最大降溫速率

 5℃/min
加熱區(qū)長度

 455mm (18")
溫控系統(tǒng)

· 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR

· 可設(shè)置50段升降溫程序. 

· 控溫儀表操作視頻

帶有過熱和斷偶保護(hù)
控溫精度

+/-1℃
爐管材質(zhì)和尺寸

· 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管

· （標(biāo)配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L   

（選配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L
密封法蘭

· 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表（圖片中的藍(lán)表為選配）和閥門

· 通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr 

泄漏率最大6 mtorr/min
輸入電源

 AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：最大5KW
真空泵和配件

真空泵：· 一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動架內(nèi)

            通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr

 配件：· 標(biāo)配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個(gè)不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭

      · 一個(gè)1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍

      · 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x 10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種

       類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

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氣體流量計(jì)

· 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動架上，可以推動，可同時(shí)混入三種不同氣體。

· 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 

· 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 

· 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

·  一個(gè)壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來監(jiān)測混合氣體的壓力

· 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上

        Front Panel                     Back Panel                   Gas Routes
運(yùn)輸信息

產(chǎn)品尺寸


· 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管

· 爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H

混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組： 600 x 600 x 700mm

凈重

450 lb (總計(jì))

運(yùn)輸重量

500 lb (總計(jì))
質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件
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公司環(huán)境

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