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RTP快速退火爐—產(chǎn)品對(duì)比速覽

發(fā)布時(shí)間:2020-07-10

①性能參數(shù)


設(shè)備型號(hào)

工作溫度

升溫速率

控溫精度

功率

產(chǎn)品特點(diǎn)

OTF-1200X-4-RTP

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(連續(xù))

≤50℃/S

±1℃

12KW

1、法蘭上安裝有滑軌

2、可快速升降溫

RTP-1000-LCD

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(連續(xù))

≤50℃/S

±1℃

12KW

1、多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

2、法蘭上安裝有滑軌

OTF-1200X-IR-IISL

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(長(zhǎng)期)

室溫~800℃: 50 ℃/s

800℃~900℃: 10℃/s

±1℃

24KW

1、雙溫區(qū)開啟式

2、可選裝波紋管推拉式伸縮架

OTF-1200X-RTP-4-SL

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(長(zhǎng)期)

≤50℃/S(室溫~800℃)

≤10℃/S(800~900℃)

±1℃

12KW

爐低安裝一對(duì)滑軌

OTF-1200X-80SL

1100℃(連續(xù))

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

3KW

爐低安裝一對(duì)滑軌

OTF-1200X-III-80SL

1100℃(連續(xù))

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

7KW

1、三溫區(qū)開啟式

2、爐低安裝一對(duì)滑軌

TCVD-OTF-1200X-S2-50SL

1000℃(連續(xù))

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

3KW

雙爐體滑動(dòng)

OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL

1000℃(連續(xù))

1100℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

3KW

1、雙石英管設(shè)

2、爐低安裝一對(duì)滑軌

GSL-1100X-III-D11

1000℃(連續(xù))

1100℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

24KW

1、大型三溫區(qū)管式爐

2、爐低安裝一對(duì)滑軌

OTF-1200X-S-DVD

1100℃(連續(xù))

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

1.5KW

1、可通過磁鐵推動(dòng)坩堝移動(dòng)

2、高熱傳導(dǎo)性的氧化鋁樣品盤

GSL-1600X-FS3KW

800-1600℃(連續(xù))

1650℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

5.5KW

1、配備電極法蘭實(shí)現(xiàn)電場(chǎng)輔助閃燒

2、滑軌式水平推進(jìn)送料系統(tǒng)

3、左端法蘭:含低真空帶石英觀察窗口

GSL-1100X-RTP50

1000℃(連續(xù))

1100℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

2.5KW

1、單端封口石英管

2、右側(cè)法蘭安裝滑軌

OTF-1200X-50S-SL

1100℃(連續(xù))

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

1.5KW


OTF-1200X-S-HPCVD

1100℃(連續(xù))

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

2KW

1、坩堝可在管內(nèi)移動(dòng)

2、右端法蘭與真空不銹鋼波紋管連接




②外形參數(shù)


設(shè)備型號(hào)

加熱元件

爐管尺寸及材料

外形尺寸

重量

OTF-1200X-4-RTP

8根紅外燈管

高純石英管Φ110

760×330×530mm

70kg

RTP-1000-LCD

8根紅外燈管

高純石英管Φ110



OTF-1200X-IR-IISL

16根紅外燈管

高純石英管Φ110



OTF-1200X-RTP-4-SL

8根紅外燈管

高純石英管Φ4"×1400mm



OTF-1200X-80SL

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管Φ80×1400mm



OTF-1200X-III-80SL

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管Φ80×2400mm



TCVD-OTF-1200X-S2-50SL

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管Φ50×1500mm



OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管

Φ80×1800mm(內(nèi)管)

Φ100×1400mm(外管)



GSL-1100X-III-D11

摻鉬鐵鉻鋁

外管尺寸:

280 OD× 270 ID×2070 mm L

內(nèi)管尺寸:

254 OD×244 ID×2310 mm L



OTF-1200X-S-DVD

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管Φ50×1000mm



GSL-1600X-FS3KW

硅鉬棒

高純剛玉管80 OD×76 ID×1000Hmm



GSL-1100X-RTP50

硅碳棒

高純石英管

50 OD×44 ID×304.8mmL



OTF-1200X-50S-SL

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管50 OD×45 ID×1000mmL

1200×400×500mm

50kg

OTF-1200X-S-HPCVD

摻鉬鐵鉻鋁

高純石英管50 OD×44 ID×450mmL




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