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900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐
關(guān)鍵字:
質(zhì)子
型號(hào):
RTP-1000-LCD
產(chǎn)品概述:
RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速熱處理) 管式爐。包括多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng),在操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。他專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品(尺寸可達(dá)3")退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用短波紅外燈加熱,最快升溫速度是50℃/秒。 50 段精確溫度控制,儀表控溫精度是 +/-1℃。RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐—RTP-1000-LCD (2019.12.24—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>   3、配件妥善保管提示


主要特點(diǎn)

· 快速升溫,最高達(dá)50℃/s。

· 配有多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng),在操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

· 超大管徑φ110mm。

· 最高溫度可達(dá)900℃。

· 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

· 開門斷電。

基本參數(shù)

· 工作溫度:最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(長(zhǎng)期)    

· 最快升溫速率:室溫~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s                   

· 法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭         

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度:190mm                              

· 加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW)    

· 最大功率:12KW(>60A 保險(xiǎn))       

· 設(shè)備電源:AC220V/50HZ 單相 

· 循環(huán)水流量:0.5 m3/h

· 標(biāo)配流量計(jì)量程范圍:16-160 ml/min

· 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)

· 輸入電壓:AC 220V/50Hz單相

· 功率:23W



產(chǎn)品

二通道

三通道

四通道

五通道

工作溫度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

最大壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重復(fù)精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范圍

一路:1~199 SCCM

二路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注意

其他流量范圍的可定制(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM),需額外費(fèi)用

五-九路可按照客戶要求定制



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

· 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

· 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便。

· 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。

· 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。

真空法蘭

· 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝,法蘭上有1/4英寸直徑的通孔,用于插入K型熱電偶。

· 熱電偶:K型,熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。

溫控系統(tǒng)

· 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置50段升降溫程序

· 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù)

· 儀表控溫精度: +/- 1°C

· 熱電偶型號(hào):K型

開門斷電

· 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)


  

質(zhì)保

· 一年保修,終身技術(shù)支持。
· 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

             2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。


科晶實(shí)驗(yàn)室對(duì)OTF-1200X-4-RTP設(shè)備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實(shí)驗(yàn)研究,得出以下經(jīng)驗(yàn)以供參考:


1)升溫速率越慢,控溫精度越高,升溫速率越快,追溫溫差越大。

升溫速率

追溫溫差

控溫精度恒溫精度

1℃/s

< 5℃

+-0.5℃

2℃/s

< 10℃

+-1℃

50℃/s

溫差較大,但30s內(nèi)恒溫

+-1℃



2)570℃以下降溫不可控。

降溫速率

可控溫度情況(參考)

40℃/min

570℃以上,可控制降溫

60℃/min

600℃以上,可控制降溫且誤差<5℃,600℃-570℃,誤差<10℃





實(shí)驗(yàn)名稱:RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關(guān)系

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>1、升溫速度能否保持恒定;

2、恒溫波動(dòng)是否小于1℃;

3、實(shí)現(xiàn)目的:保持一定的升溫速度,待到達(dá)恒溫溫度時(shí),升溫速度減緩的溫度點(diǎn)越接近恒溫溫度越好。

適用領(lǐng)域:鐵磁性材料的制備

實(shí)驗(yàn)結(jié)果:

100℃/min,到400℃

斜率基本恒定;沖溫<1℃;升速減緩點(diǎn)在398℃

100-400.png

100℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫<1℃;升速減緩點(diǎn)在698℃

100-700.png

400℃/min,到400℃

斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點(diǎn)在395℃

400-400.png

400℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點(diǎn)在395℃

400-700.png

300℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點(diǎn)在795℃

300-700.png

600℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫≤2℃;升速減緩點(diǎn)在790℃

600-700.png

以上數(shù)據(jù)總結(jié),存在調(diào)試差異,具體詳情請(qǐng)聯(lián)系合肥科晶實(shí)驗(yàn)室

應(yīng)用技術(shù)提示

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥。

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。

· 該設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度為600℃。

· 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源,防止出現(xiàn)安全問題。

· 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā))爐(可查看下方的圖片自己制備RTE)

· 在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積后,石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個(gè)基片襯底上,此法可被廣泛應(yīng)用制備二維材料。通過CVD法生長(zhǎng)的石墨烯,表面平整度高且無(wú)殘?jiān)?/span>

· 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用,使用有毒有害,易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性,使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí),應(yīng)關(guān)閉閥門。

· 第一次使用,或長(zhǎng)時(shí)間不用再次使用時(shí),請(qǐng)分別點(diǎn)擊二個(gè)“通道清洗”(清洗通道),將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進(jìn)行吹洗。

· 流量計(jì)通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。

· 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體,否則容易損壞通氣管道,混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥(YQY-6(氧)、 YQQ-9(氫)、YQE-03(乙炔)、YAr-04(氬氣)等)

· 氫氣瓶必須使用專用的減壓器,開啟氣瓶時(shí),操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方,動(dòng)作要輕緩。

· 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處,避免陽(yáng)光直曬,又能耐火的專門建筑物或室外,嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

· 嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

· 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。

注意事項(xiàng)

· 當(dāng)爐體溫度高于200℃時(shí),請(qǐng)一定連接并運(yùn)行水冷機(jī),防止對(duì)設(shè)備造成損壞。

· 當(dāng)爐體溫度高于900℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

· 爐管不建議正壓使用,對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

· 不要放在不平或有震動(dòng)的產(chǎn)所,否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險(xiǎn)。

· 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進(jìn)設(shè)備內(nèi)部,否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險(xiǎn)。

· 不要放在容易濺上水的場(chǎng)所,水等進(jìn)入產(chǎn)品本體的話,可能引起火災(zāi)、觸電事故。

· 設(shè)備的控制電路部分要進(jìn)行定期檢查(半年檢查一次),對(duì)線路進(jìn)行緊固,若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時(shí)應(yīng)及時(shí)處理,否則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。

· 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件,嚴(yán)禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi),否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。

可選配件

· 紅外燈管為可更換的(圖1),如有需要請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售人員。

· 樣品架可選:3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2)

· 可選:將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設(shè)計(jì)三個(gè)坩堝架,則可被改造成一個(gè)RTE,CSS或HPCVD爐,另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3)

· 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4)

· 建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。(請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥)(圖5)

· 可選購(gòu)壓力控制模塊來(lái)監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6)

· 可與氣液混合罐配合使用。(圖7)

· 可與精密液體氣相發(fā)生器配合使用。(圖8)


01.jpg配件詳情5.1.jpg配件詳情5.2.jpg配件詳情5.7.jpg           圖1                    圖2                   圖3                   圖4


配件詳情5.12.jpg   配件詳情5.13.jpg 6370985484850337643346180.jpg6370985489603841991153904.jpg

圖5                    圖6                   圖7                    圖8

PC控制(選配)

· 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買爐子前,準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。

· 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序,以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。

· 購(gòu)買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售人員。


配件 2.jpg     配件 3.jpg     配件 4.jpg  

水冷機(jī)(選配)

· 可選購(gòu)水冷機(jī)降低法蘭總成溫度,避免高溫密封硅膠圈融化。


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真空配件(選配)

· 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動(dòng)擋板閥。


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· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。



02.jpg


· 機(jī)械真空計(jì)(作為設(shè)備標(biāo)配),范圍從-0.1到0.15Mpa。

· 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。


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真空泵組(選配)

此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空,配合本公司生產(chǎn)的真空泵組

配件18.jpg

相關(guān)產(chǎn)品
公司環(huán)境

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合肥科晶品牌紀(jì)錄片                                      公司環(huán)境

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