| 產(chǎn)品名稱 | 1200℃坩堝可移動型HPCVD爐-OTF-1200X-S-HPCVD |
| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
| 產(chǎn)品特點 | · 爐子配備步進電機，通過觸摸屏數(shù)字控制器使樣品臺或坩堝在爐管內(nèi)移動。 · 最高溫度可達1200℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 · 可選擇改造為雙溫區(qū)管式爐，但需額外付費，以產(chǎn)生更高的熱梯度或更長的恒溫區(qū)。 |
| 基本參數(shù) | · 最高溫度: 1200℃（≤30min） 工作溫度: 1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱區(qū)長度：200mm · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：220V · 最大功率為：2KW |
| 真空密封 | · 高純石英管50mm外徑x44mm內(nèi)徑x 450mm長 · 采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭，硅膠密封圈密封 · 法蘭上安裝有一個機械壓力表 · 右端法蘭與一個真空不銹鋼波紋管連接 |
| 坩堝移動機構(gòu)和PLC控制 | · 一個直徑為1/4＂的鎧裝熱電偶（K型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監(jiān)測樣品的實際溫度。（見圖一） · 通過步進電機移動爐管內(nèi)的坩堝（樣品臺），最大行程為100mm。 · 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為180mm/min（可根據(jù)要求提供變速控制，但需額外付費）。（見圖二） · 在熱電偶上安裝了一個微型坩堝舟。（ 見圖三） · 可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架，將收取額外的定制費（見圖四）。 圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 |
| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
應用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 · 降溫時請利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問題。 · 該多功能爐適用于以下應用： · RTE（快速熱蒸發(fā)）：蒸發(fā)料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺上，樣品臺與熱電偶相連接，然后將樣品臺移動到理想的位置（此位置溫度是實驗所需要的溫度）。 · HPCVD（混合物理化學沉積）：與RTE相似，但需配混氣系統(tǒng)，對反應氣體混合并控制流量，同時也需設(shè)定蒸發(fā)料的位置（確定蒸發(fā)料的蒸發(fā)溫度）。 · 水平布里奇曼晶體生長：將樣品和籽晶裝入坩堝中，并將其放置在爐子的中心位置。以所需的速度移動坩堝，可以在合適的溫度梯度下生長單晶。 · 對于水平定向結(jié)晶（HDC），您可以使用氣體進料槽。（見下圖） |
警示 | · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 |
可選配件 | · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖1) · 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點擊這里學習如何安裝減壓閥）。(圖2) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖3) · 可選購歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖4) · 可選購石英管堵，提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。（圖5） · 可選購石英舟盛放樣品。（圖6）
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配） | · 請在購買爐子前，準備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達到遠程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動擋板閥。
· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。
· 機械真空計（作為設(shè)備標配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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