| 產(chǎn)品名稱 | 1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP滑軌爐（載物臺(tái)：4英寸 升溫速度：50度/S）OTF-1200X-RTP-4-SL |
| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
| 主要特點(diǎn) | ? 采用短波紅外燈管對(duì)樣品加熱，可達(dá)到快速加熱的效果。 ? 快速升溫，最高達(dá)50℃/s。 ? 超大管徑φ110mm。 ? 安裝了一組滑軌，可使用控制旋鈕使熔爐自動(dòng)以可變速度從一側(cè)移動(dòng)到另一側(cè)。 ? 最高溫度可達(dá)1100℃。 ? 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 ? 開(kāi)門(mén)斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。 |
| 基本參數(shù) | ·最大1100oC，持續(xù)時(shí)間<10分鐘 ·最大1000oC，持續(xù)＜20分鐘（注意：如果運(yùn)行時(shí)間更長(zhǎng)，爐殼將＞100oC，必須使用風(fēng)扇從外部冷卻爐殼） ·最大800oC，持續(xù)時(shí)間<120分鐘 ·連續(xù)溫度最高600oC ? 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 ? 加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW) ? 最大功率：12KW(>60A 保險(xiǎn)) ? 設(shè)備電源：AC220V/50HZ 單相 ? 循環(huán)水流量:0.5 m3/h ? 標(biāo)配流量計(jì)量程范圍：16-160 ml/min |
| 爐管及滑軌 | ? 高純石英管?4英寸外徑x 1400mm長(zhǎng) ? 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 ? 滑軌長(zhǎng)度：1400毫米 ? 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
| 滑動(dòng)控制 | ? 自動(dòng)滑動(dòng)由溫度控制器控制。 加熱程序完成后，爐子將以設(shè)定的速度從右向左滑動(dòng)。風(fēng)扇會(huì)吹動(dòng)加熱區(qū)域以實(shí)現(xiàn)快速冷卻。 ? 滑動(dòng)范圍：340mm ? 滑動(dòng)速度可調(diào) |
| 真空法蘭 | ? 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔，用于插入K型熱電偶。 ? 法蘭端提供多種接頭可選，具體請(qǐng)咨詢銷(xiāo)售。 |
| 溫控系統(tǒng) | ? 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 ? 溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) ? 儀表控溫精度: +/- 1°C |
| 開(kāi)門(mén)斷電 | ? 為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì) |
| 質(zhì)保 | ? 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 文獻(xiàn) | 相關(guān)文獻(xiàn)：Rapid hybrid chemical vapor deposition for effiffifficient and hysteresis-free perovskite solar modules with an operation lifetime exceeding 800 hours |
科晶實(shí)驗(yàn)室對(duì)OTF-1200X-4-RTP設(shè)備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實(shí)驗(yàn)研究，得出以下經(jīng)驗(yàn)以供參考：
1）升溫速率越慢，控溫精度越高，升溫速率越快，追溫溫差越大。
升溫速率 | 追溫溫差 | 控溫精度（恒溫精度） |
1℃/s | < 5℃ | +-0.5℃ |
2℃/s | < 10℃ | +-1℃ |
50℃/s | 溫差較大，但30s內(nèi)恒溫 | +-1℃ |
2）570℃以下降溫不可控。
降溫速率 | 可控溫度情況（參考） |
40℃/min | 570℃以上，可控制降溫 |
60℃/min | 600℃以上，可控制降溫且誤差<5℃，600℃-570℃，誤差<10℃ |
實(shí)驗(yàn)名稱：RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關(guān)系
實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>1、升溫速度能否保持恒定；
2、恒溫波動(dòng)是否小于1℃；
3、實(shí)現(xiàn)目的：保持一定的升溫速度，待到達(dá)恒溫溫度時(shí)，升溫速度減緩的溫度點(diǎn)越接近恒溫溫度越好。
適用領(lǐng)域：鐵磁性材料的制備
實(shí)驗(yàn)結(jié)果：
100℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點(diǎn)在398℃ |
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100℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點(diǎn)在698℃ |
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400℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在395℃ |
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400℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在395℃ |
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300℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在795℃ |
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600℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤2℃；升速減緩點(diǎn)在790℃ |
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以上數(shù)據(jù)總結(jié)，存在調(diào)試差異，具體詳情請(qǐng)聯(lián)系合肥科晶實(shí)驗(yàn)室 | ||
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 · 該設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度為600℃。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問(wèn)題。 · 在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積后，石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個(gè)基片襯底上，此法可被廣泛應(yīng)用制備二維材料。通過(guò)CVD法生長(zhǎng)的石墨烯，表面平整度高且無(wú)殘?jiān)?/strong> · 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE） |
注意事項(xiàng) | · 當(dāng)爐體溫度高于900℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 滑動(dòng)加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做，請(qǐng)穿戴防護(hù)裝備，例如耐熱服和手套。 加熱時(shí)請(qǐng)勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣，請(qǐng)務(wù)必穿戴好安全裝置。 |
可選配件 | · 紅外燈管為可更換的(圖1)，如有需要請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售人員。 · 樣品架可選：3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2) · 可選：將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設(shè)計(jì)三個(gè)坩堝架，則可被改造成一個(gè)RTE，CSS或HPCVD爐，另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3) · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4) · 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。（請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）。(圖5) · 可選購(gòu)壓力控制模塊來(lái)監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6)
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6 |
PC控制(選配） | · 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買(mǎi)爐子前，準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。 · 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購(gòu)買(mǎi)帶有PC控制的加熱爐，如有疑問(wèn)請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動(dòng)擋板閥。
· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外，該儀表還降低了由于氣體類(lèi)型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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