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三靶等離子濺射鍍膜儀
關(guān)鍵字:
CE認證、最大鍍膜直徑為φ2
型號:
VTC-16-3HD
產(chǎn)品概述:
VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀,最大能鍍膜直徑為φ2”的基片,控制面板采用觸摸屏模式,可濺射三種不同類型的靶材。
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設(shè)備名稱與型號

三靶等離子濺射鍍膜儀  VTC-16-3HD

主要參數(shù)

· 輸入電源: AC 220V 50/60HZ

· 濺射電流:0-40mA可調(diào)

· 功率:<1KW

· 輸出電壓:最大1680V DC

濺射腔體

· 材質(zhì):采用石英材質(zhì)作為腔體

· 尺寸:OD166mm*ID150mm*150mm

· 密封:采用O型圈密封

· 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板,用于靶材的預濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口,用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內(nèi)部充入空氣。

·一個不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體。

圖片1.png

· 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的微量精密調(diào)節(jié)閥控制進入石英腔體內(nèi)部工作氣體的流量,從而達到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)部的真空度

· 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的電位器,實現(xiàn)對濺射電流大小的控制。

圖片2.png 圖片3.png


靶材

· 標配三塊銅靶材

· 靶材尺寸要求:φ47*0.1-3mm厚度

· 可在我公司選購其他金屬靶材,詳細請咨詢銷售部門

· 安裝有一可手動操作的擋板,用于靶材的預濺射。

樣品臺

·  一個φ50mm的可旋轉(zhuǎn)的樣品臺,樣品臺支撐柱上有固定螺絲,擰松螺絲即可調(diào)整樣品臺的高度;

· 樣品臺旋轉(zhuǎn)角度:0/120/240度;

· 靶材和樣品臺之間的距離為20-70mm可調(diào);
· 樣品臺可以選配加熱功能,最高加熱溫度500度;

圖片4.png

控制面板

· 4PLC集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、樣品濺射時間

圖片5.png

· 數(shù)據(jù)記錄功能可以記錄每次濺射的真空度、電流和濺射時間等工藝參數(shù),方便客戶進行查詢

真空系統(tǒng)(選配)

· 型號:VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機功率:370 W

· 極限壓強:5×10-1Pa(不帶負載)

· 實際壓強:≤5 Pa(冷態(tài)下機械泵抽20分鐘)

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購國產(chǎn)或進口高真空機組

圖片6.png


質(zhì)保和質(zhì)量認證

· 一年質(zhì)保期,終生維護

· CE認證

外形尺寸

 460*400*500mm(長**高)

重量

20KG

使用提示

· 為了達到理想的薄膜厚度,需要多次濺射鍍膜

· 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、樣品和樣品臺的潔凈

· 要達到薄膜與基底良好結(jié)合,請在濺射前清潔基材表面,可選購本公司的清洗設(shè)備進行清潔

· 此款設(shè)備可放入手套箱中濺射(ArN2氣氛環(huán)境)


 注意事項

· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責。


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