產(chǎn)品特點 | ·清洗面積較大,大達300×300mm ·樣品倉門自動開關(guān) ·可移除基片表面各種污染物 ·樣品臺可加熱,最高溫度150℃ ·觸摸屏控制面板,可設(shè)置和現(xiàn)實各種參數(shù) |
電源要求 | ·AC220V,50/60Hz ·總功率:950W |
UV燈 | ·設(shè)備中包含一臺雙波長汞燈 ·波長:253.7nm和184.9nm ·UV燈使用壽命:5000小時 ·UV燈罩區(qū)域:300×350mm ·可清洗基片最大尺寸為12英寸,35mm厚度 ·UV燈單獨包裝,防止運輸中損壞 ·UV燈不在質(zhì)保范圍內(nèi) |
腔體&樣品臺 | ·不銹鋼殼體 ·自動滑動抽屜樣品倉 ·樣品臺面積450×450mm ·最大樣品厚度:40mm ·一個臭氧排除裝置安裝在腔體中 ·時間設(shè)置范圍:0.01秒~99.9小時 |
加熱型樣品臺 | ·加熱臺最高溫度可達150℃,程序控溫 ·可設(shè)置30段溫度段,控溫精度±2℃ ·最大加熱速率:15℃/min ·樣品臺和UV燈關(guān)之間的距離可調(diào)節(jié):20~40mm ·可選加熱溫度達到300℃,控溫精度±0.1mm |
排氣口 | ·一個直徑為75mm的排氣口在設(shè)備后部 ·配有3米的柔性排氣管道 |
質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期,終身維護 ·UV燈管不在質(zhì)保范圍內(nèi) |
應(yīng)用 | ·清洗Si基片,GaAs基片,石英和ITO玻璃 ·清洗各種氧化物單晶片,如藍寶石,STO和LAO ·清洗Au和Pt基片 ·輕金屬材料表面氧化 ·活化聚合物材料 ·UV去除光刻膠 ·UV清洗LED顯示屏 |
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