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雙靶磁控濺射儀
型號(hào)：
VTC-600-2HD
產(chǎn)品概述：
VTC-600-2HD是一款帶有兩個(gè)靶頭的磁控濺射鍍膜儀，其中一個(gè)靶頭采用直流（DC）濺射，可濺射金屬靶材制備金屬膜，另一個(gè)采用射頻（RF）濺射，可濺射金屬和氧化物靶材，制備金屬或氧化物膜.設(shè)備上安裝有薄膜測(cè)厚儀可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度。此設(shè)備可制作各種單層或多層薄膜，如鐵電、導(dǎo)電，合金，半導(dǎo)體，陶瓷，介電，光學(xué)，氧化物和PTFE薄膜等。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
主要參數(shù)

輸入電源：220V AC 50/60Hz   功率：＜2KW（包含真空泵）

 

濺射電源：安裝有兩個(gè)濺射電源：

直流（DC）電源：500W，針對(duì)于制作金屬膜

射頻（RF）電源：300W，可制作氧化物和金屬膜

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主要特點(diǎn)

體積小，操作簡(jiǎn)便

 

真空腔室、真空泵組整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，控制電源為分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整購(gòu)買需求。

 

可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍，購(gòu)買前請(qǐng)聯(lián)系我公司銷售。
磁控濺射頭

儀器中安裝有2個(gè)2英寸磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層（圖一）

 

一個(gè)濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材

 

另一個(gè)濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材

 

靶材尺寸要求：直徑為50mm,厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

 

可以單獨(dú)訂購(gòu)RF連接線作為備用（圖二）

 

設(shè)備包含一臺(tái)水冷機(jī)，用于靶頭冷卻（圖三）

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       圖一

        圖二

           圖三
載樣臺(tái)

載樣臺(tái)尺寸：φ140mm（最大可放置4"的基底）

 

載樣臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）

 

載樣臺(tái)最高可加熱溫度為500℃

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真空腔體

真空腔體：φ300 mm  x 300 mm H，采用不銹鋼制作

 

觀察窗口：φ100 mm

 

腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易

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氣體流量控制器

儀器內(nèi)部安裝有2個(gè)質(zhì)量流量計(jì)，量程為：0-100sccm

 

氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進(jìn)行操作

 

此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）

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真空系統(tǒng)

配有一套GZK-103D分子泵系統(tǒng)（德國(guó)制作）

 

標(biāo)準(zhǔn)5E-5mbar 極限7.4E-6mbar（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）

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薄膜測(cè)厚

一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  

 

LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

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產(chǎn)品外型尺寸

L 1300mm× W 660mm× H 1200mm

 

凈重：160 kg
質(zhì)保

一年保修，終身技術(shù)支持。


特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

 

點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
使用提示

此設(shè)備為DIY設(shè)備，參數(shù)變化較大購(gòu)買前請(qǐng)務(wù)必電話仔細(xì)溝通

 

為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）

 

在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈

 

要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面

 

超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。

 

等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。

 

制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。

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   超聲波清洗機(jī)

    等離子清洗機(jī)

   蒸鍍儀

   手套箱
警示

注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體

 

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用

 

濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

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