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等離子磁控鍍膜儀
關(guān)鍵字：
單靶、旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、非導(dǎo)電薄膜
型號(hào)：
VTC-1RF
產(chǎn)品概述：
VTC-1RF小型臺(tái)式單靶等離子濺射儀，配有一個(gè)1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻等離子電源。一個(gè)可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，長(zhǎng)期使用溫度為500℃，樣品臺(tái)與靶材之間的高度可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款性價(jià)比高并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。如果客戶需要制作金屬薄膜，我們也可以配置高壓直流電源，適合客戶制作一些金屬薄膜。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱型號(hào)

等離子磁控鍍膜儀  VTC-1RF
基本參數(shù)

· 電源：AC 220V 50/60HZ

· 功率：＜1800W
射頻電源

· 輸入電源：220V 3A

· 輸出功率：0-300W

· 輸出頻率：13.56 MHZ

· 冷卻方式：設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷

· 尺寸：444（長(zhǎng)）*410（寬）*128（高）  

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磁控濺射頭

· 1英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接

· 靶材尺寸要求：φ25.4*（0.1-3）mm厚

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· 1英寸磁控濺射頭可承受最大射頻功率：100W

·1英寸磁控濺射頭可承受最大直流功率：250W
濺射腔室

·腔室尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*高250mm，采用高純石英制作

· 密封法蘭:直徑為174mm 采用金屬鋁制作，采用氟膠密封圈密封

· 法蘭蓋上安裝了一個(gè)可手動(dòng)操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射，法蘭蓋上包含一個(gè)φ6.35的卡套接頭用于連接進(jìn)氣管。

· 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體

· 腔室真空度：<1.0×10-2 Torr （采用雙極旋片真空泵）,<5×10-5 torr （采渦旋分子泵）

· 如果需要更高真空度，可以定做不銹鋼真空腔室（真空度可以達(dá)到5*10-6torr以下）

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· 腔體進(jìn)氣口為Φ6.35mm的不銹鋼雙卡套接頭，通過聚四氟管可與氣瓶連接，并通過一個(gè)精密微量調(diào)節(jié)閥控制進(jìn)氣量的大小
樣品臺(tái)

· 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱

· 樣品臺(tái)尺寸：直徑50mm （最大可放置2英寸的基片）

· 旋轉(zhuǎn)速度：1- 10 rpm（可調(diào)速）

· 樣品臺(tái)的最高加熱溫度為700℃(短期使用，恒溫不超過1小時(shí))，長(zhǎng)期使用溫度500℃

· 控溫精度：±10℃

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真空顯示單元

· 真空計(jì)型號(hào)：ZDZ-52T

· 測(cè)量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

· 有效范圍：3.0×103Pa~1.0×100Pa

· 配接硅管：ZJ-52T/KF16

· 面板尺寸：96*96 mm

· 真空計(jì)配套的規(guī)管只能測(cè)量空氣和氮?dú)猓衅渌麣怏w成分比例較大的場(chǎng)合需另外修正
真空系統(tǒng)（選配）

· 抽真空接口為KF25接口

· 真空泵型號(hào)：VRD-16

· 抽氣速率：4.4 L/S

· 電機(jī)功率：750 W

· 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載）

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水冷設(shè)備（選配）

· 型號(hào)：KJ-5000

· 工作電流：1.4-2.1A

· 制冷量：2361Btu/h

· 尺寸：55×28×43cm（長(zhǎng)×寬×高）

· 水箱容量：6L

· 水流速率：16L/min


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薄膜測(cè)厚儀（可選） ?

· 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  

· LED顯示屏顯示，同時(shí)也可輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

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外形尺寸

設(shè)備尺寸：長(zhǎng)550mm×寬550m×高1100mm

爐架尺寸：長(zhǎng)600mm×寬600m×高600mm

10.png
重量

約55KG
保質(zhì)期

1年（不包密封圈等損耗件）


 




注意事項(xiàng)

· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）；

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。


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