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小型分體式磁控濺射儀（50mm靶頭，可選直流或射頻電源,手套箱內(nèi)可用）
關(guān)鍵字：
射頻/直流可選、Ar手套箱內(nèi)可用
型號(hào)：
VTC-2RF-STX（2英寸）(內(nèi)部名稱(chēng)：?jiǎn)伟猩漕l磁控濺射儀）
產(chǎn)品概述：
VTC-2RF-STX是一款小型的單靶磁控濺射鍍膜儀，配有一個(gè)2英寸的磁控等離子濺射頭。射頻等離子電源和高壓直流電源兩種電源可選，用于鍍膜各種薄膜材料
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產(chǎn)品名稱(chēng)型號(hào)

分體式單靶磁控濺射儀（射頻/直流可選，Ar手套箱內(nèi)可用) VTC-2RF-STX（2英寸）
電源

AC220V/50HZ
射頻電源（選配）

· 輸入電源：220V

· 輸出功率：0-300W

· 輸出頻率：13.56 MHZ

· 冷卻方式：設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷  

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直流電源（選配）

· 輸入電源：220V

· 直流輸出功率：0-500W

· 最大工作電流：0.75A

· 冷卻方式：設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷  

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石英腔室

·石英罩：167mm ODx152mm IDx250mm H

·下法蘭蓋為304不銹鋼材質(zhì)，上法蘭蓋為鋁材質(zhì)

·腔室極限真空度

 配置機(jī)械泵<1pa(7.5*10-2 torr)

 配置分子泵<5*10-3Pa(3.7*10-5 torr)

·法蘭蓋上帶有手動(dòng)泄壓閥

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樣品臺(tái)

· 一個(gè)直徑為Φ50mm的不銹鋼樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)速率為：0.5-5 RPM/min；

· 樣品臺(tái)標(biāo)配加熱功能，樣品臺(tái)最高加熱溫度500℃；

· 可以根據(jù)客戶需要選配樣品臺(tái)冷卻功能，樣品臺(tái)冷卻最低溫度5℃。

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濺射靶頭

· 標(biāo)配2英寸的磁控濺射頭，內(nèi)部嵌有冷卻水管，可以通水冷實(shí)現(xiàn)對(duì)磁鋼和靶材的冷卻，從而能夠可以長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行濺射；

· 配有一手動(dòng)操作的擋板，當(dāng)?shù)谝淮螢R射清除靶材表面的氧化層和污物層，擋住基片，防止污染基片；

· 樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：60-80mm。

 （可根據(jù)客戶要求選配1英寸的磁控濺射頭）

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靶材

· 設(shè)備標(biāo)配一塊銅靶材，尺寸：φ50.8mm(2″)x 3 mm(厚度)；

  客戶如果需要其它靶材，可聯(lián)系銷(xiāo)售進(jìn)行訂購(gòu)，

· 可選購(gòu)濺射靶材：Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn等。

· 要求靶材尺寸：Φ50.8mm×0.1- 5mm(厚度）
饋通（選配）

· 如果您打算在手套箱內(nèi)使用此設(shè)備，請(qǐng)選配 KF40 饋通，用于連接手套箱外的電源、冷水機(jī)和真空泵

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水冷設(shè)備（選配）

· 型號(hào)：KJ-5000

· 工作電流：1.4-2.1A

· 制冷量：2361Btu/h

· 尺寸：55×28×43cm（長(zhǎng)×寬×高）

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薄膜測(cè)厚儀（選配）

· 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分別率為0.10 ?

· LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

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真空泵（選配）

·機(jī)械泵型號(hào)：VRD-8

·抽速：2.2L/S（8m3/h）

·進(jìn)氣口：KF25

·工作環(huán)境溫度：5-40℃

·噪音：≦56 dB  

·極限真空度：5*10-4 torr（不帶負(fù)載）

·為了達(dá)到更好的鍍膜效果，可選購(gòu)分子泵對(duì)濺射腔體抽真空，

 真空度可達(dá)到10-5Torr

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外形尺寸

· 主機(jī)尺寸：460Lx300Wx715H mm

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重量

20KG
保質(zhì)期

1年（不包含噴頭、加熱元件、注射器等損耗件）

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注意事項(xiàng)

· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）；

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。


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