設(shè)備名稱 | 2200℃高溫頂部籽晶溶液生長(zhǎng)爐 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | · 采用高頻感應(yīng)加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱,控溫系統(tǒng)采用歐陸儀表PID控溫,控溫精度可達(dá)±0.1℃ · 石英腔體配合法蘭進(jìn)行密封,可以實(shí)現(xiàn)在真空和氣氛保護(hù)下運(yùn)行 · 含有真空密封旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)便于用戶操作 |
加熱系統(tǒng) | · 工作電壓: 三相380VAC ,50Hz (需配60A空氣開(kāi)關(guān)) · 加熱電流:3-28A (需配60A空氣開(kāi)關(guān)) · 最大輸入功率: 15KW · 振蕩頻率: 20-100KHZ (固定頻率) · 感應(yīng)線圈: 220mm(ID) x 65mm(H) · 空氣冷卻: 后風(fēng)扇 · 保護(hù)系統(tǒng):帶有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù) |
控溫系統(tǒng) | · 采用歐陸儀表Eurotherm控制溫度,控溫精度可以達(dá)到±0.1℃; · 最高加熱溫度:2200℃(<1小時(shí)) · 長(zhǎng)期使用溫度:2000℃ |
石英腔體和密封法蘭系統(tǒng) | · 采用石英腔體作為實(shí)驗(yàn)環(huán)境,上下兩端不銹鋼密封法蘭,保障了石英腔室的密封 · 石英管尺寸:φ216mm(OD)*φ206mm(ID)*500mm(H) · 法蘭采用氟膠密封圈密封 · 石英管外安裝有金屬防護(hù)罩,防護(hù)罩上面有觀察窗口,便于觀察石英管內(nèi)部晶體的生長(zhǎng)情況。 |
石墨坩堝和保溫材料 | · 高純石墨坩堝: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height, · 最大容量:樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的2/3,可生長(zhǎng)直徑φ2”*高度100mm以下的單晶晶體; · 保溫層:石墨坩堝外環(huán)繞三層石墨氈隔熱材料,從里到外分別為三層石墨氈,總厚度為45mm, 石墨保溫毯(可耐溫2200℃)注意: 石墨坩堝是易耗件 |
提拉機(jī)構(gòu) | 采用伺服電機(jī)提拉系統(tǒng) (提拉速度更為均勻穩(wěn)定,改善單晶生長(zhǎng)質(zhì)量) ? 提拉速度:0.8-50mm/h ? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.1-23r/min ? 快速升降速度:40mm/min 上部提拉密封系統(tǒng),采用真空波紋管密封,可以實(shí)現(xiàn)在真空密封環(huán)境下進(jìn)行提拉法生長(zhǎng)晶體; |
石墨坩堝旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) (選配) | · 放置物料的石墨坩堝可以根據(jù)客戶的需要,選配旋轉(zhuǎn)功能 · 坩堝旋轉(zhuǎn)速度:0.1-23 r/min(可調(diào)) · 坩堝旋轉(zhuǎn)方向與上部提拉桿旋轉(zhuǎn)方向相反 · 坩堝旋轉(zhuǎn)可以確保物料加熱過(guò)程中更加均勻 |
真空系統(tǒng)(選配) | · 機(jī)械泵:無(wú)油干泵或油泵 · 型號(hào):nXDS15i · 理論抽氣速率:17.1 m3/h · 極限真空度:0.8 Pa(不帶負(fù)載) · 2 Pa(帶石英腔體負(fù)載狀態(tài)) · 泄露率(pa·m3/s):<1×10-7 · 電機(jī)功率:300W · 額定轉(zhuǎn)速:1800rpm · 外形尺寸:450×300×320(L×W×H) · 分子泵型號(hào):FF-160/700 · 極限壓強(qiáng):6×10-7 Pa(不帶負(fù)載) · 啟動(dòng)時(shí)間:<4min · 額定轉(zhuǎn)速:36000轉(zhuǎn)/分 · 冷卻方式::風(fēng)冷/水冷 · 抽氣口接口尺寸:KF40 |
產(chǎn)品尺寸 | 設(shè)備尺寸:約長(zhǎng)*寬*高=1200L×1200W×2000Hmm |
重量 | 約200kg |
保質(zhì)期 | 1年(不包含石英管,O型密封圈圈和加熱元件等損耗件) |
使用注意事項(xiàng) | · 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa; · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英腔體內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全, 建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全; · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱, 則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體, 請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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