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2200℃高溫頂部籽晶溶液生長(zhǎng)爐
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晶體生長(zhǎng)爐
產(chǎn)品概述:
2200℃高溫頂部籽晶溶液生長(zhǎng)爐(TSSG)是一套有高頻感應(yīng)加熱系統(tǒng)和密封石英腔室組成,采用28段可編程溫度控制器控制升溫的晶體生長(zhǎng)爐系統(tǒng),帶有石墨坩堝與提拉機(jī)構(gòu),可用于碳化硅、藍(lán)寶石等晶體的生長(zhǎng)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

2200℃高溫頂部籽晶溶液生長(zhǎng)爐

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 采用高頻感應(yīng)加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱,控溫系統(tǒng)采用歐陸儀表PID控溫,控溫精度可達(dá)±0.1℃

· 石英腔體配合法蘭進(jìn)行密封,可以實(shí)現(xiàn)在真空和氣氛保護(hù)下運(yùn)行

· 含有真空密封旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)便于用戶操作

加熱系統(tǒng)

· 工作電壓: 三相380VAC ,50Hz   (需配60A空氣開(kāi)關(guān))

· 加熱電流:3-28A (需配60A空氣開(kāi)關(guān))

· 最大輸入功率: 15KW 

· 振蕩頻率: 20-100KHZ (固定頻率) 

· 感應(yīng)線圈: 220mm(ID) x 65mm(H) 

· 空氣冷卻: 后風(fēng)扇

· 保護(hù)系統(tǒng):帶有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)

控溫系統(tǒng)

· 采用歐陸儀表Eurotherm控制溫度,控溫精度可以達(dá)到±0.1℃;
· 采用PID方式控溫,可設(shè)置28段升降溫程序
· 采用一根C型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫,熱電偶位置設(shè)置在石墨坩堝底部。

· 最高加熱溫度:2200℃(<1小時(shí))

· 長(zhǎng)期使用溫度:2000℃

圖片1.png 圖片2.png

石英腔體和密封法蘭系統(tǒng)

· 采用石英腔體作為實(shí)驗(yàn)環(huán)境,上下兩端不銹鋼密封法蘭,保障了石英腔室的密封

· 石英管尺寸:φ216mm(OD)*φ206mm(ID)*500mm(H)

· 法蘭采用氟膠密封圈密封

· 石英管外安裝有金屬防護(hù)罩,防護(hù)罩上面有觀察窗口,便于觀察石英管內(nèi)部晶體的生長(zhǎng)情況。


石墨坩堝和保溫材料

· 高純石墨坩堝: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height,  

· 最大容量:樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的2/3,可生長(zhǎng)直徑φ2”*高度100mm以下的單晶晶體;

· 保溫層:石墨坩堝外環(huán)繞三層石墨氈隔熱材料,從里到外分別為三層石墨氈,總厚度為45mm,

   石墨保溫毯(可耐溫2200℃)注意: 石墨坩堝是易耗件

圖片3.png

提拉機(jī)構(gòu)

  采用伺服電機(jī)提拉系統(tǒng)

 (提拉速度更為均勻穩(wěn)定,改善單晶生長(zhǎng)質(zhì)量)

 ? 提拉速度:0.8-50mm/h

 ? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.1-23r/min

 ? 快速升降速度:40mm/min
 ? 提拉行程:300 mm

  上部提拉密封系統(tǒng),采用真空波紋管密封,可以實(shí)現(xiàn)在真空密封環(huán)境下進(jìn)行提拉法生長(zhǎng)晶體;

圖片4.png

石墨坩堝旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) (選配)

· 放置物料的石墨坩堝可以根據(jù)客戶的需要,選配旋轉(zhuǎn)功能

· 坩堝旋轉(zhuǎn)速度:0.1-23 r/min(可調(diào))

· 坩堝旋轉(zhuǎn)方向與上部提拉桿旋轉(zhuǎn)方向相反

· 坩堝旋轉(zhuǎn)可以確保物料加熱過(guò)程中更加均勻


真空系統(tǒng)(選配)

· 機(jī)械泵:無(wú)油干泵或油泵

· 型號(hào):nXDS15i

· 理論抽氣速率:17.1 m3/h

· 極限真空度:0.8 Pa(不帶負(fù)載)

· 2 Pa(帶石英腔體負(fù)載狀態(tài))

· 泄露率(pa·m3/s):<1×10-7

· 電機(jī)功率:300W

· 額定轉(zhuǎn)速:1800rpm

· 外形尺寸:450×300×320(L×W×H)

· 分子泵型號(hào):FF-160/700
· 抽氣速率:700L/S

· 極限壓強(qiáng):6×10-7 Pa(不帶負(fù)載)

· 啟動(dòng)時(shí)間:<4min

· 額定轉(zhuǎn)速:36000轉(zhuǎn)/分

· 冷卻方式::風(fēng)冷/水冷

· 抽氣口接口尺寸:KF40

圖片5.png

產(chǎn)品尺寸

設(shè)備尺寸:約長(zhǎng)*寬*高=1200L×1200W×2000Hmm

QQ圖片20210902130732.png

重量

200kg


保質(zhì)期

1年(不包含石英管,O型密封圈圈和加熱元件等損耗件)


使用注意事項(xiàng)

· 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英腔體內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,

   建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,

   則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,

   請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。

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