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1200℃晶體生長(zhǎng)爐
型號(hào):
VTF-1200X-TSSG-III
產(chǎn)品概述:
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
立式三溫區(qū)管式爐

? 立式三溫區(qū)管式爐

? 工作電壓:AC220V 單相

? 最大功率:  5KW

? 三個(gè)加熱區(qū):  150mm+300mm+150mm

? 總溫區(qū)長(zhǎng)度:600mm

? 最高工作溫度: 1200°C(<1hr)

? 連續(xù)工作溫度: 1100°C

? 三個(gè)溫區(qū)都采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可程序控溫,分別由3個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

? 用戶需要探索所長(zhǎng)晶體最合適的溫度梯度

? 調(diào)節(jié)三個(gè)加熱區(qū)的溫度,來形成不同的溫度梯度

? 所配石英管尺寸 :130mm O.D x 120mm I.D x 600mm L

(用于保護(hù)電阻加熱絲防止晶體生長(zhǎng)過程中的腐蝕性揮發(fā)物,對(duì)電阻絲的腐蝕)

? 在上部爐膛處開有一個(gè)Φ25mm的斜觀察孔,用于在晶體生長(zhǎng)過程中對(duì)籽晶和晶體液面進(jìn)行觀察。

 VTF-1200X-TSSG-III 6.png VTF-1200X-TSSG-III 7.png


視頻

 VTF-1200X-TSSG-III操作視頻.png


             操作視頻

溫控系統(tǒng)

? 采用三塊歐陸儀表Eurotherm控制溫度,控溫精度可達(dá)±0.1℃

? 采用PID方式控溫,可設(shè)置28段升降溫程序

? 配置3根Ω鎧裝K型熱電偶

 VTF-1200X-TSSG-III 8.png VTF-1200X-TSSG-III 9.png


籽晶桿固定件和坩堝

 VTF-1200X-TSSG-III 10.png


? 標(biāo)配有1套籽晶桿固定件,不銹鋼材質(zhì),用于連接客戶生長(zhǎng)晶體所用的籽晶桿;

? 可選配Φ80*80mm的銥金坩堝(需要單獨(dú)付費(fèi));
? 對(duì)于其它材料的坩堝,客戶可自行配置或與我們銷售聯(lián)系定制; 

 VTF-1200X-TSSG-III 11.png 


提拉機(jī)構(gòu)控制系統(tǒng)

 VTF-1200X-TSSG-III 12.png


一、標(biāo)準(zhǔn)配置采用步進(jìn)電機(jī)系統(tǒng)

? 采用6"L x 4"W的觸摸屏來控制提拉機(jī)構(gòu)的升降和旋轉(zhuǎn)

? 提拉速度:0.8-50mm/h

? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.1-23r/min

? 快速升降速度:40mm/min
? 提拉行程:300mm


二、可選配采用伺服電機(jī)系統(tǒng)

(提拉速度更為均勻穩(wěn)定,改善單晶生長(zhǎng)質(zhì)量)

? 提拉速度:0.8-50mm/h

? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.1-23r/min

? 快速升降速度:40mm/min
? 提拉行程:300mm




其他選配功能

? 上部提拉密封系統(tǒng),采用真空波紋管密封,可以實(shí)現(xiàn)在真空密封環(huán)境下進(jìn)行提拉法生長(zhǎng)晶體;

? 下部稱重系統(tǒng),采用下稱重方式,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)生長(zhǎng)晶體的自動(dòng)精確控制。

 VTF-1200X-TSSG-III 13.png VTF-1200X-TSSG-III 14.png

產(chǎn)品外形尺寸

? 1000mm(L) x 630mm(W) x 2260mm(H)

 標(biāo)注尺寸.jpg


溫度校準(zhǔn)系統(tǒng)

? 標(biāo)配K型熱電偶溫度校準(zhǔn)系統(tǒng),可插入爐膛內(nèi)部進(jìn)行溫度梯度的測(cè)定

 VTF-1200X-TSSG-III 15.png VTF-1200X-TSSG-III 16.jpg

質(zhì)保

? 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含石英管,密封圈,加熱元件)


凈重

? 200kg


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