- 加熱爐設(shè)備
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- 其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
小型提拉法(CZ)單晶生長爐(可用于生長直徑<25mm晶體,最高溫度2100℃)
- 關(guān)鍵字:
- 生長小于1英寸單晶、最高溫度2100℃
- 型號:
- IMCS-2000-CZ
- 產(chǎn)品概述:
- IMCS-2000-CZ是一款小型的提拉法(CZ)晶體生長爐,生長單晶直徑<25mm。此設(shè)備最高溫度可達(dá)2100℃,可用于生長Al2O3,GGG,YAG,LaAlO3,Si,Ge和各種金屬單晶等。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
電源需求
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輸入電壓:380VAC,三相 (需要50A空氣開關(guān)) 感應(yīng)加熱最大輸入電流50A 最大輸出功率25KW
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真空腔體
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真空腔體采用304不銹鋼制作 真空腔體尺寸:Φ320×320mm 腔體門上有一石英窗口(Φ120mm),用于觀察材料熔化,種籽晶和長晶過程 一個KF25接口和一個KF40真空接口在腔體后端 LF160接口在腔體右側(cè),用于連接分子泵系統(tǒng)。
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提拉機(jī)構(gòu)
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提拉機(jī)構(gòu)采用精密伺服電機(jī)驅(qū)動 提拉速度:0.4-15mm/hr 提拉干旋轉(zhuǎn)速度:0.1-23RPM 移動行程:0-250mm 提拉機(jī)構(gòu)可快速移動35mm/min 可增加上稱重模塊,用實(shí)時測量提拉出樣品的質(zhì)量與電源功率輸出配合,提高長晶質(zhì)量(需要額外增加費(fèi)用)
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真空&氣氛
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真空腔體種可抽真空和通入惰性氣氛 設(shè)備中配有一個數(shù)顯防腐真空計(jì)(傳感器上涂油陶瓷涂層),測量范圍為10^-5 ~ 1000 torr 真空度:5 x 10-6 torr(采用分子泵系統(tǒng)) 5×10-2torr(采用機(jī)械泵) 可在本公司購買各種真空泵 |
感應(yīng)加熱
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25KW(30-80KHz)感應(yīng)電源,帶有時間控制器和功率控制器 感應(yīng)線圈:Φ90mm×80mmH 其他尺寸線圈可定制 設(shè)備需要:116L/min的循環(huán)水冷機(jī)(標(biāo)配中包含,需要額外付費(fèi)購買)
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控制面板
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觸摸屏控制面板 可控制提拉速度,提拉行程,籽晶桿轉(zhuǎn)速和工作溫度
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應(yīng)用注意事項(xiàng)
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| | | | | 熔化材料 | 籽晶種入到熔液 | 提拉開始 | 生長的氧化鋁單晶 | 生長的Ni單晶 |
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設(shè)備尺寸
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