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三溫區(qū)頂部籽晶助溶劑法(TSSG)單晶生長(zhǎng)爐
關(guān)鍵字:
最高溫度1200℃
型號(hào):
VTF-1200X-III-TSSG
產(chǎn)品概述:
VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區(qū)頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長(zhǎng)爐。此設(shè)備主要由3部分組成:3溫區(qū)加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,最高溫度為1200℃),溫控系統(tǒng)可設(shè)置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu),其提拉速度為0.8-50mm/hour.
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爐體

3溫區(qū)加熱: 150mm+300mm+150mm,三個(gè)溫區(qū)由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制,可創(chuàng)造出較大的溫度梯度

最高工作溫度: 1200℃(小于1小時(shí))

連續(xù)工作溫度:  1100oC

功率:  208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相

最大功率: 5KW


控制面板

· PLC觸摸屏控制面板,可設(shè)置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度等

· 溫控系統(tǒng):可設(shè)置28段溫度段,采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,其控溫精度為±0.1℃

· 升溫速率: 0~10oC / min

· 提拉速度: 0.8-50mm/h (可調(diào))

· 下降速度: 40 mm/minute

· 籽晶桿轉(zhuǎn)速: 0.1-23 RPM(可調(diào))


最大提拉行程

300mm


加熱腔體

· 腔體直徑為Φ135mm(設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式),最大可直徑為Φ80mm的坩堝

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度600mm

可選購(gòu)真空密封件:直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭

 VTF-1200X-III-TSSG 5.png   VTF-1200X-III-TSSG 6.png


設(shè)備尺寸

     標(biāo)注尺寸.jpg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件等耗材)


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附件

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