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近距離蒸發(fā)鍍膜爐
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CSS,短波燈管,快速升降溫,RTP
型號:
OTF-1200X-RTP-II
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐,專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11"?OD,爐管內(nèi)載樣盤為3"?的圓形。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20oC/S?。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1oC。儀器面板上帶有RS485接口,若儀表內(nèi)配有控溫軟件,就可將升溫程序和曲線導出。
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真空腔體

腔體為一高純石英管

尺寸:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法蘭

真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作

頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口

底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口

法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封,通過機械泵其腔體內(nèi)真空度可達10-2 torr,用分子泵其真空度可達到10-5 torr

兩個法蘭都可以通過手動操作進行上下移動

一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,可精確測量腔體內(nèi)真空度


  wps253.png     wps254.png

混氣系統(tǒng)

可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用(本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng))


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加熱元件和載樣臺

由兩組IR紅外燈管進行加熱

額定功率800 W    總功率:1600W 

為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷機構(gòu)上

一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部

緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻

3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料


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熱電偶

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

溫控系統(tǒng)

兩個控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫

可以選購PC控溫軟件,將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導入電腦中


wps259.png    wps260.png      wps261.jpg

工作溫度

兩個加熱區(qū)域單獨工作的最高溫度: <= 650oC

兩個加熱區(qū)域最大溫差: <= 350 oC

加熱和冷卻速率

加熱速率:   > 8 oC /S

冷卻速率:   > 10  oC /S  ( 600 - 100oC)

電源

208 - 240VAC, 單相, (需20A的空氣開關(guān))

真空系統(tǒng)(選配)

可在本公司選購真空泵和水冷系統(tǒng)


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質(zhì)保期?????

一年質(zhì)保期  (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )

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