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12英寸近距離旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)鍍膜爐
關(guān)鍵字:
載樣臺尺寸Ф300,短波燈管,快速升降溫,RTP
型號:
RTP-II-CSS-300(內(nèi)部名稱:雙溫區(qū)管式爐 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
產(chǎn)品概述:
RTP-Ⅱ-CSS-300是一款12英寸近距離旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)鍍膜爐,其爐腔體是Φ500mm的高真空不銹鋼腔體,此款設(shè)備可用于蒸發(fā)或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,氧化物、半導(dǎo)體、或者太陽能基片退火實驗,其載樣臺尺寸Ф300,頂部載樣臺可以旋轉(zhuǎn)提高鍍膜均勻度。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),最大升溫速率為20o/S
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱型號

12英寸近距離旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)鍍膜爐 RTP-Ⅱ-CSS-300

產(chǎn)品特點

· 載樣臺最大尺寸Ф300

· 上端載樣臺可以旋轉(zhuǎn)和上下移動

· 采用分子泵,爐腔體真空度可達(dá)10-3Pa


加熱爐系統(tǒng)

· 輸入電源 AC 三相380V 50/60HZ,最大功率:64KW

· 最高工作溫度:950℃(<30min),長期工作溫度:900℃

· 熱電偶兩根:兩根K型熱電偶,一根用于測控上加熱臺,一根用于測控下加熱臺     

· 加熱元件:紅外燈管

· 可以載樣品最大尺寸:Ф300mm

· 推薦升溫速率:10℃/S


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溫度控制

· 包含一款EPC300系列歐陸溫度控制器

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制                                             

· 默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口

· 控溫精度:±0.1℃(最高可達(dá))

  所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可,并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測試

·可選購電腦溫度控制軟件用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù);


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加熱爐腔體

·爐腔體尺寸:內(nèi)徑500mm*高460mm

·爐腔體密封:密封采用O型圈+法蘭壓緊密封    

·觀察窗口:爐腔體上留有直徑60mm石英觀察窗口

·爐腔體連接有磁耦合真空推送器,推送器前端連接有氮化鋁擋板,在高真空狀態(tài)下或氣氛下可以對蒸鍍源進(jìn)行遮擋。

·爐腔體另一側(cè)連接有高真空電動插板閥+機械泵+分子泵                          

·爐腔體真空度:最高可達(dá)10-3Pa                                          


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不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)+加熱平臺

·不銹鋼密封法蘭,法蘭和加熱爐腔之間采用硅膠O型圈壓緊方式密封。

·上法蘭開啟和關(guān)閉才用電動方式,由兩個同步升降立柱執(zhí)行,用PC機進(jìn)行控制

·上法蘭裝有機械壓力表和數(shù)顯真空計,留有G1/4出氣口,KF25真空電極接口

·上法蘭連接有壓縮波紋管上加熱臺可以在真空或氣氛下上下移動,調(diào)節(jié)上下加熱臺距離,調(diào)節(jié)上下加熱區(qū)的溫差,上加熱臺移動移動范圍:0-25mm

·上法蘭連接有磁流體+電滑環(huán)+水滑環(huán)進(jìn)行動密封,上加熱臺通過步進(jìn)電機進(jìn)行旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)范圍:1-10r/min

·下法蘭留有KF25真空電極接口和G1/4進(jìn)氣口

·上下加熱平臺采用圓形需要水冷,兩組紅外燈管在加熱平臺內(nèi)呈井字型排列,使加熱溫場更加均勻。

·樣品支架分別安裝在上下加熱臺上。


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控制系統(tǒng)

·控制系統(tǒng)采用PC機+PLC控制

·可以設(shè)定上加熱臺旋轉(zhuǎn)速度和移動距離,電動開啟關(guān)閉上法蘭。

·可以設(shè)定升溫曲線(升溫,恒溫,降溫)

·通過PC機可以控制機械泵和分子泵,并顯示分子泵轉(zhuǎn)速

·可自動顯示記錄,溫度,真空度,流量,等參數(shù)曲線

·可存儲10條自定義配方工藝隨時調(diào)用。

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真空系統(tǒng)(選配)

· 配套機械泵,真空度可以達(dá)到10-2 ttor

· 配套分子泵,真空度可以達(dá)到10-5 ttor


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水冷機(選配)

· 型號:CW-6300

· 工作電壓:AC 220V 50HZ

· 工作電流:3.4-21A,制冷量:27808Btu/h

· 壓縮機功率:300W,水箱容量:45L

· 最大流量:70-116L/min,凈重:165 Kg


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產(chǎn)品尺寸

外形尺寸:1450X1250X2100mm(長*寬*高)

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重量

約640kg


保質(zhì)期

1年(不包含紅外燈管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)



 



使用注意事項

· 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,

為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減

壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要

關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,

必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用

易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有

毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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