設(shè)備名稱 | 800℃ CSS(斜杠)RTP快速熱蒸鍍爐(配5英寸旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái))-OTF-1200X-RTP-II-5-R (2019.10.24--科晶實(shí)驗(yàn)室審核) |
產(chǎn)品提示 | 1.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 2.圖片未及時(shí)更新提示 3.多種配件可選提示 4.危險(xiǎn)設(shè)備操作提示 |
主要特點(diǎn) | ·快速升溫,最高達(dá)10℃/s。 ·最高溫度可達(dá)800℃。 ·由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部,兩溫度控制器進(jìn)行獨(dú)立控溫。 ·兩樣品臺(tái)距離以及旋轉(zhuǎn)均可通過(guò)觸摸屏控制。 ·頂部載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)。 |
基本參數(shù) | ·工作溫度:最高800℃,兩個(gè)加熱區(qū)之間的最大溫差為300℃ ·最快升溫速率:10 ℃/s ·冷卻速率:>10 ℃/s(800-300℃) ·真空度:20Pa(機(jī)械泵),10E-1Pa(分子泵) ·控溫精度:+/-0.1℃(歐陸表) ·加熱元件:紅外燈管 ·最大功率:10KW(>50A保險(xiǎn)) ·熱電偶:K熱電偶 ·超溫和斷偶保護(hù) ·設(shè)備電源:AC220V/50HZ 單相 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 |
加熱元件和載樣臺(tái) | ·由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部 ·兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過(guò)直流電機(jī)調(diào)節(jié)(觸摸屏控制) ·頂部載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速可調(diào),0-10 r/min(觸摸屏控制) ·為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中(不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作) ·采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作為載樣臺(tái),以達(dá)到較好的加熱均勻性 |
真空法蘭 | ·真空法蘭為316不銹鋼制作 ·頂部法蘭(可通過(guò)控制盒進(jìn)行上升和下降): 一機(jī)械壓力表 一KF16接口,可以安裝防腐真空計(jì) 兩個(gè)不銹鋼精密針閥用于氣體的進(jìn)出 ·底部法蘭: 一KF25接口,可以與真空泵相連接 法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封 |
尺寸 | 790mm × 600mm × 1100mm |
認(rèn)證 | ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或者CAS認(rèn)證。 |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括密封圈、加熱元件和石英管) |
科晶實(shí)驗(yàn)室對(duì)OTF-1200X-RTP-II-5-R設(shè)備做了一系列實(shí)驗(yàn)研究:
蒸鍍物料:硒化銻;基底:石英片
結(jié)論:基底310℃,蒸發(fā)源700℃,蒸鍍3min以上可在石英片上蒸鍍硒化銻。
基底溫度/℃ | 蒸發(fā)源溫度/℃ | 蒸鍍后 | |
310 | 560 | ||
320 | 570 | ||
330 | 580 | ||
340 | 590 | ||
350 | 600 | ||
370 | 620 | ||
310 | 700 | 蒸鍍2min | |
310 | 700 | 蒸鍍3min | |
310 | 700 | 蒸鍍5min |
鍍膜形貌:
由SEM圖可看到,鍍層表面顆粒大小均勻,總體分布均勻。
樣品 | SEM形貌 | |||
XRD檢測(cè):
對(duì)比兩個(gè)XRD圖可知,蒸鍍后基底出現(xiàn)新的Sb2Se3成分,說(shuō)明Sb2Se3薄膜成功蒸鍍。
光能薄膜電池循環(huán)檢測(cè):
對(duì)蒸鍍后的材料做電池循環(huán)檢測(cè),循環(huán)周期為15 ,說(shuō)明成功制做出光能薄膜電池。
若有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)數(shù)據(jù)請(qǐng)聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室
應(yīng)用提示 | ·頂部載樣臺(tái)近距離旋轉(zhuǎn)蒸鍍時(shí),應(yīng)注意上下距離,避免旋轉(zhuǎn)時(shí)夾樣夾螺釘刮蹭坩堝。 ·使用冷阱時(shí),由于是剛性連接,注意冷阱與腔體保持在同一水平線上,避免腔體升降產(chǎn)生應(yīng)力導(dǎo)致接口脫離。 ·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥。 |
警示 | ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 ·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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