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粉末旋轉(zhuǎn)RF磁控濺射包覆爐
關(guān)鍵字:
粉末表面包覆, 粉末PVD
產(chǎn)品概述:
粉末旋轉(zhuǎn)RF磁控濺射包覆爐是通過粉末在濺射腔室內(nèi)的旋轉(zhuǎn),以達(dá)到粉末表面均勻包裹的效果。腔室可旋轉(zhuǎn)、傾斜,能快速出料。是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材、氧化物靶材。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

粉末旋轉(zhuǎn)RF磁控濺射包覆爐

特點(diǎn)

· 可對粉體材料進(jìn)行表面包覆:采用磁控濺射,濺射時粉體材料在腔體內(nèi)翻滾,達(dá)到粉體表面均勻包覆;

· 可抽真空、通氣氛

基本參數(shù)

· 電源:AC 220V 50HZ

· 功率:<1500W

射頻電源

· 輸入電源:220V 3A

· 輸出功率:0-300W

· 輸出頻率:13.56 MHZ

· 冷卻方式:設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷

· 尺寸:444(長)*410(寬)*128(高) 

圖片2.png

磁控濺射頭

·2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接

·靶材尺寸要求:φ50*(0.1-5)mm厚

圖片3.png

·2英寸磁控濺射頭可承受最大射頻功率:300W

·2英寸磁控濺射頭可承受最大直流功率:500W


靶材

· 適合濺射金、銀、鋁、銅等金屬,對基片的損傷和基片溫升比較少

· 標(biāo)配一塊銅靶,φ2″*3mm

· 靶材尺寸要求:φ2″×(0.1-5)mm厚度


濺射腔室

· 濺射腔室為異形的連熔爐管,尺寸:φ130*700/φ180*300mm

· 腔室可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速1-10rpm可調(diào),速度通過前面板上的調(diào)速器調(diào)節(jié),顯示屏顯示轉(zhuǎn)速

· 腔體兩端采用磁流體法蘭與不銹鋼密封法蘭通過快速連接的方式進(jìn)行密封,法蘭兩端安裝有支撐架支撐磁流體法蘭。卸料時拆掉兩端磁流體法蘭,將爐體傾斜(由前面板的旋鈕控制),即可快速出料

· 左端法蘭上安裝了一個φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用,一個不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷;一個量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力;一個φ19mm的通孔用于通入濺射靶頭到腔室內(nèi)部

· 右端法蘭上的一個φ8mm的寶塔嘴接頭作為出氣口使用,一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷,一個KF25的接頭與真空系統(tǒng)相連;一個KF16的接口作為備用接口,可選配安裝數(shù)顯真空計;

· 右端法蘭在腔體內(nèi)的位置安裝了一個石英檔板,檔板上安裝了四個不銹鋼擋條用于攪拌打散物料,使其能充分濺射。

圖片4.png 圖片5.png 圖片6.png

· 腔體頂部安裝了一個防護(hù)罩,以屏蔽等離子體,防護(hù)罩頂部有一個長寬為240mm的石英觀察窗口,可以觀察物料濺射情況。


真空系統(tǒng)(選配)

· 型號:VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機(jī)功率:370 W

· 極限壓強(qiáng):5×10-1Pa(不帶負(fù)載)

· 實(shí)際壓強(qiáng):≤5 Pa(冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘)

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

圖片7.png

圖片8.png

水冷設(shè)備(選配)

· 型號:KJ-5000

· 工作電流:1.4-2.1A

· 制冷量:2361Btu/h

· 尺寸:55×28×43cm(長×寬×高)

· 水箱容量:6L

· 水流速率:16L/min

圖片9.png

設(shè)備外形尺寸

1500mmL*1000mmW*1500mmH)防護(hù)罩打開時的尺寸


重量

100kg


保質(zhì)期

1年(不包密封圈等損耗件)


注意事項(xiàng)

· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。



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