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超聲霧化熱解爐(配100mm爐管,噴霧噴嘴和自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng))
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超聲霧化 進(jìn)料系統(tǒng)
型號(hào):
OTF-1200X-VT-USPA
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的雙溫區(qū)立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm。它可以將氣體或者溶液霧化后噴入加熱爐管中,因此也可以用來(lái)制備PVD、CSS或CVD涂層。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置50段升降溫程序,控溫精度為+/- 1 ℃。爐體下端安裝有一移動(dòng)架以方便移動(dòng)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱

? 1200℃帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的立式爐-OTF-1200X-VT-USPA


產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備    3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?nbsp;   4、配件妥善保管提示


產(chǎn)品特點(diǎn)

? 雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品。

? 容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理。

? 超聲霧化模塊可利用低振動(dòng)能量將液體霧化,之后利用自重或低壓壓縮空氣噴 入管式爐中。

? 立式管式爐容積式喂料器超聲霧化模塊。

? 以用來(lái)制備PVD、CSS或CVD涂層。


基本參數(shù)

? 功率:總功率6KW 每個(gè)溫區(qū): 3KW

? 電源:208-240V AC 單相,50/60 Hz

? 最高工作溫度:1200°C (<1 hr)每個(gè)溫區(qū)

? 連續(xù)工作溫度:1100°C每個(gè)溫區(qū)

? 加熱速率:<= 20℃/min.

? 控溫精度:+/- 1℃

? 爐管尺寸:OD:100mm*ID:95mm*L1000mm

? 爐管材質(zhì):氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射

爐管升級(jí):可用莫來(lái)石管(60mm-100mm)代替石英管,管式爐的使用溫度可升至1250℃(另收費(fèi))

? 加熱元件:1300℃ 摻鉬鐵鉻鋁

? 加熱區(qū)長(zhǎng)度:

   200mm(溫區(qū)1)

   200mm(溫區(qū)2)

   總加熱長(zhǎng)度:400mm

? 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:300mm(兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度)

? 真空度:10E-2 Torr(用機(jī)械泵)

   10E-5 Torr (用分子泵)

   漏氣率 < 5 mTorr / min.

?溫控系統(tǒng):

   采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置50段升降溫程序

   具有超溫及斷偶報(bào)警功能

   通信端口:RS485

   可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu))

 圖片1.png


外形尺寸

? 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H)(不含移動(dòng)架)

? 600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H)(包含移動(dòng)架)


凈重

? 約 80 kg (不含移動(dòng)架)


認(rèn)證

? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

 認(rèn)證.png


質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(相關(guān)耗材除外,如爐管加熱元件密封圈易耗件)


應(yīng)用技術(shù)提示


·購(gòu)買(mǎi)前請(qǐng)聯(lián)系我們,確定進(jìn)出氣口以及閥門(mén)種類(lèi)。

·石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。

·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。

·若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。      

了解怎樣用立式爐對(duì)樣品進(jìn)行淬火

? 用傳統(tǒng)的方法將懸掛絲剪斷,樣品墜落(圖一、二)

? 使用電磁閥使樣品墜落(圖三)

? 可將此立式爐改造為HPCVD(混合物理化學(xué)氣相沉積實(shí)驗(yàn)爐)(圖四)

? 也可用此設(shè)備來(lái)對(duì)樣品進(jìn)行焊接(圖五)


圖1.png   圖2.png   圖3.jpg

         圖一                    圖二                       圖三


圖4.png圖5.png

                圖四                         圖五                

警示

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公 司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。

? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。


密封法蘭

1.上端法蘭上焊有一吊環(huán),以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進(jìn)行燒結(jié)

圖片7.png


2.可選:本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

圖片8.png


3.多種接頭可選

圖片9.png

真空計(jì)

? 可選用進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空計(jì)進(jìn)行真空度測(cè)量

圖片4.png

真空系統(tǒng)

? 通過(guò)機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr.

? 通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr.

圖片5.png

供氣系統(tǒng)

(可選)

? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計(jì)可供選擇,以實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。

單通道浮子

單通道質(zhì)子

兩通道浮子

兩通道質(zhì)子

多通道浮子

(防腐)

圖片6.png95870759.jpg圖片8.png37906452.jpg圖片10.png


減壓閥

? 可選用本公司減壓閥,以實(shí)現(xiàn)氣體壓力的精確控制。

圖片11.png


PC控制(選配)

? 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

圖片1.png


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