| 基本參數(shù) | l 電壓：AC 220V單相, 50/60 Hz ；最大功率：1.2KW l 最高工作溫度：1100℃ ；連續(xù)工作溫度：1000℃ l 最大升溫速率：≤20 ℃ /min；加熱區(qū)：200mm（單溫區(qū)） l 恒溫區(qū)：100mm (±2℃ ) 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 |
| 流化區(qū)域 | l 配有一個(gè)2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成亞微米級(jí)液滴引入到加熱流化區(qū)域進(jìn)行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆 l 氣體以及亞微米級(jí)的霧化顆粒均勻分布在整個(gè)爐腔中 l 固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi) l 可提供絕佳的熱傳導(dǎo)及顆粒表面的均勻包覆 l 爐體設(shè)計(jì)為開啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應(yīng)后的顆粒。 注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí)，也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過大會(huì)使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量 |
| 超聲霧化儀 | l 220V AC，2.4MHz高頻超聲波霧化器，可將溶液霧化為亞微米級(jí)顆粒 l 液體罐上涂有氟化物，并采用氟膠密封圈密封 l 可設(shè)置超聲儀功率0-100%，每次按5%增加 l 外部配備有氟化物光學(xué)傳感器（耐腐蝕）以及閥門來確保內(nèi)部液面處于合適高度，避免液體量過少 l 316不銹鋼三通，帶有1/4英寸轉(zhuǎn)換接頭，用于通入載流氣體 |
| 多孔石英板 | l 孔徑：5~15 um l 尺寸：22 mm O.D x 4mm 厚
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| 爐體結(jié)構(gòu) | l 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) l 爐體設(shè)計(jì)為開啟式，以方便放樣和取樣 l 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口1760度高溫氧化鋁涂層，可延長(zhǎng)儀器使用壽命和提高加熱效率 |
| 爐管尺寸和材料 | l 包含一異型石英管 l 爐管尺寸：兩端：25 mm O.D，22 mm I.D 中間：50 mm O.D，44 mm I.D 詳細(xì)尺寸請(qǐng)點(diǎn)擊左圖查看） l 中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動(dòng)性 |
| 密封法蘭 | l 底部法蘭：常規(guī)設(shè)計(jì)1”不銹鋼真空法蘭，配備1/4”進(jìn)氣口用于懸浮氣體進(jìn)入 l 頂部法蘭：特殊設(shè)計(jì)的1”法蘭，可實(shí)現(xiàn)前驅(qū)體氣體或逆流氣體的進(jìn)氣和出氣，請(qǐng)點(diǎn)擊圖片查看詳情。 |
| 可選配件 | l 多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制
l 氧分析儀：氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測(cè)氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。點(diǎn)擊下圖了解更多詳細(xì)信息。
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| 溫控系統(tǒng) | l 可設(shè)置50段升溫，保溫和降溫程序。 l 采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度，并帶有過熱和斷偶保護(hù) l 控溫精度：±1℃ |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
| 尺寸 | 340mm×300mm×1000mm ( W x L x H) |
| 質(zhì)量 | 約20 Kg |
| 質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期，終生維護(hù)（不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CSA認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng) | l 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa l 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 l 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，? 爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) l 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 l 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ l 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
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