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1200℃三溫區(qū)九通道質(zhì)子混氣高真空管式CVD爐 （可選50-100mm石英管，真空1E-4 torr）
型號：
OTF-1200X-4-III-9HV
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-4-III-9HV是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐，九路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其最高工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內(nèi)部。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-4-III-9HV （2019.12.12—科晶實驗室審核）
產(chǎn)品提示

科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>    圖片未及時更新提示    多種配件可選提示    危險設(shè)備操作提示
主要特點

? 高熔點物質(zhì)能夠在低溫下合成

? 可生長單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種物質(zhì)

? 不僅可以在基片上進行生長，還可以在粉體表面生長

? 雙層殼體結(jié)構(gòu)，便帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55度

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

? 三個溫區(qū)，可以獨立控溫
基本參數(shù)

一、加熱爐

? 溫度：1100℃（1200℃＜1h）

? 總溫區(qū)長度:   880mm（220 mm +  440 mm + 220 mm ）  

? 升溫速率：≤10℃/min 

? 三個精密溫度控制器分別控制三個溫區(qū)

? 恒溫精度：±1℃   

? 熱偶：K型熱偶 

? 電源：AC208-240 50/60Hz

? 功率：最大7KW

 



二、供氣系統(tǒng)

產(chǎn)品

二通道

三通道

四通道

五通道

九通道

工作溫度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

最大壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重復(fù)精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范圍

一路：1~199 SCCM

二路：1~199 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

五路：1~499 SCCM

3路:0~100SCCM

3路:1~199SCCM

3路:10~1000SCCM

 

注意

其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用

wps3.png 

五-九路可按照客戶要求定制

 



三、高真空機組

產(chǎn)品

國產(chǎn)分子泵

愛德華分子泵

抽氣速率

·N2   33 L/s

·He   39 L/s

·H2   32 L/s

·N2     42 L/s

·He     49 L/s

·H2     45 L/s

系統(tǒng)極限

真空度

<1E-4 Pa

(配和本公司管式爐使用可達到1E-2Pa)

<1E-6 Pa

(配和本公司管式爐使用可達到1E-4Pa)

分子泵組成

RVP-4機械泵和F-100/110分子泵

隔膜泵和斡旋分子泵

使用電壓

和功率

電壓：200~240V

輸出功率：150W

電壓：185-265V

輸出功率：100W

移動殼體

尺寸:

600(L)x600(W)x750(H)mm

600(L)x600(W)x750(H)mm


更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部
加熱元件和溫控系統(tǒng)

? 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

? 包含一款YD858P型溫度控制器

? PID自動控溫系統(tǒng)

? 智能化50段可編程控制

? 默認DB9 PC通信連接端口

? 通過MET認證

? 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)。

 OTF-1200X--HVC 1.jpg OTF-1200X--HVC 2.jpg OTF-1200X--HVC 3.jpg
爐體結(jié)構(gòu)和爐管尺寸

? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

? 高純石英管

? 尺寸：外徑: 100 ×長: 1000 mm
尺寸

? 加熱爐外形尺寸：1000 L x 430 W x 700 H mm

? 供氣系統(tǒng)外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

? 高真空機組外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
重量

? 加熱爐約45Kg

? 供氣系統(tǒng)約36Kg

? 真空機組約60Kg
認證

? 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

 OTF-1200X--HVC 4.jpg
質(zhì)保

 ? 一年質(zhì)保期，終生維護

? 特別提示：

   1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

   2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

應(yīng)用技術(shù)提示

1、供氣系統(tǒng)應(yīng)用提示

? 嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應(yīng)關(guān)閉閥門。

? 第一次使用，或長時間不用再次使用時，請分別點擊二個“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進行吹洗。

? 流量計通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時聲明。

? 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會收取相應(yīng)的費用。

? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）

? 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動作要輕緩。

? 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

? 嚴禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

? 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。

2、加熱爐應(yīng)用提示

? 不能超溫使用加熱爐。

? 升溫速度不可超過規(guī)定加熱速度，否則會造成加熱元件損壞。

? 如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

? 為了在管式爐內(nèi)獲得準確的溫度，在使用前需要校準溫度，請點擊這里了解如何使用

3、高真空機組應(yīng)用提示

? 分子泵關(guān)閉以后，必須等待分子泵渦輪停止后才能斷電。

? 建議分子泵與腔體間安裝有閥門，一旦實驗腔體出現(xiàn)意外，可以直接關(guān)閉閥門保護分子泵。

? 分子泵上顯示的真空度僅代表分子泵進氣口端的真空度。

警示

1、供氣系統(tǒng)注意事項

? 嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應(yīng)關(guān)閉閥門。

? 不要放在不平或有震動的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險。

? 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進設(shè)備內(nèi)部，否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險。

? 不要放在容易濺上水的場所，水等進入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災(zāi)、觸電事故。

? 設(shè)備的控制電路部分要進行定期檢查（半年檢查一次），對線路進行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時應(yīng)及時處理，否則會導致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險。

? 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險。

2、加熱爐注意事項

? 不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成儀器短路

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

3、高真空機組注意事項

? 使用前請仔細閱讀說明書，防止操作不當將導致儀器損壞。

? 真空泵不可以抽腐蝕性或爆炸性氣體。

? 真空泵不可以抽冷凝蒸氣。

? 真空泵不可以抽液體。

? 真空泵不可以抽粉塵。

? 真空泵不可以抽高溫氣體。

? 請不要在潛在的爆炸區(qū)域進行操作。

? 為了保護環(huán)境和人體健康，請使用尾氣過濾器，以盡量減少排放污染物。

? 為保護真空泵免受冷凝蒸氣或小顆粒的損壞，請將冷阱或微粒捕集器連接到泵的前級管上


相關(guān)可選

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法蘭，法蘭結(jié)構(gòu)可以根據(jù)實驗要求進行組裝。

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     可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空

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您可能需要在真空端部安裝一個手動擋板閥


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可選購防腐型數(shù)顯真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氫氣等其他氣體氛圍下的真空度測量

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 根據(jù)實驗要求選擇國產(chǎn)和進口分子泵


配件 7.jpg配件 8.jpg 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）

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選配機械泵，維持工作區(qū)間的低壓環(huán)境

配件 10.jpg

        可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序

配件 11.jpg

           溫度校準套件

配件 12.jpg


          可選購歐陸型溫控儀表，恒溫精確度可以提升到±0.1℃


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