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1200℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 (配80mm石英管和防腐真空計)
關鍵字:
單溫區(qū) 三通道
型號:
OTF-1200X-80-I-F3LV
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達到 10-2 torr.
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高溫爐殼體

· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng)

內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度


功率

 2.5 KW


電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 


加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其最大程度延長使用壽命)


最高工作溫度

  1200


連續(xù)工作溫度

1100


最快升溫速率

 ≤20 


爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 


加熱區(qū)長度

400 mm


控溫系統(tǒng)

50段程序化控溫  



控溫精度

+/- 1 


真空密封系統(tǒng)

兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),最大漏氣率6 mtorr/min

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真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。


防腐型真空計

· 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細介紹)

blob.png

混氣系統(tǒng)

· 三個浮子流量計

· 三路浮子量程分別為

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

內(nèi)部安裝有一混氣罐 


尺寸

· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm


尺寸

· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm


凈重

60kg


開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
          


運輸重量

200


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)



使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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