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4電弧提拉法單晶生長爐
關(guān)鍵字:
提拉法
型號:
SP-MSM-4CZ
產(chǎn)品概述:
SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達(dá)3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達(dá)10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點(diǎn)的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
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腔體

采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水

 

腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品

 

腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)

 

腔體尺寸:Φ257*360mm

1.1.png  1.2.png 


真空計(jì)

腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表

2.1.png


電弧槍

共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水)

 

鎢電極直徑為Φ4mm

 

電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調(diào)節(jié)

 

起弧電源: 18 V / 185 A    電壓380V

 

熔煉溫度可達(dá)3000℃

 3.1.png 3.2.png


樣品臺

采用水冷銅坩堝

 

可投如樣品量為60g(按鐵計(jì)算)


提拉機(jī)構(gòu)

控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度,轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速

 

提拉速度:0.2-10mm/h

 

提拉行程:0-70mm

 

轉(zhuǎn)速:0-40RPM


控制單元

可顯示和設(shè)置單晶生長的參數(shù)(起弧電流,提拉桿轉(zhuǎn)速,提拉行程和轉(zhuǎn)速)

真空泵

設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)(機(jī)械泵+渦旋分子泵)

 

抽氣速率:100L/S

 

可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi))

 7.1.png


循環(huán)水冷機(jī)

功率:800W

 

水流速度:58L/min

 

制冷能力:5004W(17500Btu/hour)

 

溫度控制:5~30 °C


設(shè)備尺寸

800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

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