腔體 | l 采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水
l 腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品
l 腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)
l 腔體尺寸:Φ257*360mm |
真空計(jì) | 腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表 |
電弧槍 | l 共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水)
l 鎢電極直徑為Φ4mm
l 電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調(diào)節(jié)
l 起弧電源: 18 V / 185 A 電壓380V
l 熔煉溫度可達(dá)3000℃ |
樣品臺 | l 采用水冷銅坩堝
l 可投如樣品量為60g(按鐵計(jì)算) |
提拉機(jī)構(gòu) | l 控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度,轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速
l 提拉速度:0.2-10mm/h
l 提拉行程:0-70mm
l 轉(zhuǎn)速:0-40RPM |
控制單元 | 可顯示和設(shè)置單晶生長的參數(shù)(起弧電流,提拉桿轉(zhuǎn)速,提拉行程和轉(zhuǎn)速) |
真空泵 | l 設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)(機(jī)械泵+渦旋分子泵)
l 抽氣速率:100L/S
l 可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi)) |
循環(huán)水冷機(jī) | l 功率:800W
l 水流速度:58L/min
l 制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
l 溫度控制:5~30 °C |
設(shè)備尺寸 | 800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號-1 皖公網(wǎng)安備 34012302000974號