| 設(shè)備名稱型號 | ·2000℃感應(yīng)加熱爐(石英腔室φ220*500mm) SP-85KTC |
| 感應(yīng)電源 | · 工作電壓：380V AC，50/60Hz,三相 · 工作電流: 3~28A · 最大輸入功率: 15 KW · 輸出頻率: 20-100 kHz(不可調(diào)) · 負載持續(xù)率: 100% · 感應(yīng)線圈: 236mm(OD) x 220mm(ID) x 70mm(H) · 保護：自動水壓，超溫和超功率保護
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| 密封法蘭&石英腔體 | · 石英腔室尺寸：外徑φ216*內(nèi)徑φ208*500mm · 頂部法蘭為不銹鋼鉸鏈式法蘭。法蘭上含有一個1/4″的鎧裝接口，用于安裝測溫熱電偶測量樣品溫度； · 安裝了一個機械壓力表用于觀察腔室內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa（可選配安裝數(shù)顯壓力表）；一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷； · 進氣口通過四氟管與浮子流量計連接，流量計量程為0.2-2L/min； · 底部法蘭含有一個KF25的抽真空接口，可通過波紋管與真空泵相連。標配KF25擋板閥和KF25波紋管
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| 石墨坩堝，耐火材料&防護罩 | · 一個高純石墨坩堝：外徑Φ114×內(nèi)徑Φ100×深度142mm,用于加熱和熔煉金屬，最大容量：樣品所占容積為石墨坩堝容積的1/2； · 可熔煉物料質(zhì)量：最大4Kg（按純鐵的密度計算）； · 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）； · 三塊鋼化玻璃圍著石英腔體形成了一個保護罩，保證了實驗的安全性
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| 溫控系統(tǒng)&熱電偶 | · 精密數(shù)顯溫控系統(tǒng)，采用PID調(diào)節(jié)方式 · 可設(shè)置28段升降溫沖虛 · 帶有過熱和斷偶保護 · 控溫精度：+/- 3 oC · 熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mm L ) · 連續(xù)工作溫度: 800oC~1600oC（1600℃<4小時） · 最高工作溫度: 2000℃(<30min) · 升溫速率：室溫—1000度為1度/s， ·1000度-1500度1度/2s， ·1500度-1650度1度/4s， ·在1000度以下溫度會有所波動，請在1000度恒溫10min。 · 注意：當使用溫度高于1700℃時，必須加上熱電偶保護套（鉭管）。長時間的高溫（1700℃以上）會導致保護套（鉭管）表面氧化、損壞，此時需更換保護套（鉭管）（保護套（鉭管）是消耗品，需要及時更換）
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| 水冷機（選配） | · 型號：CW-5300 · 輸入電壓：220-240V 50HZ · 輸入電流：0.5-4.5A · 制冷量：27808Btu/h · 制冷劑：R-410a · 安全保護：壓縮機過流保護，流量報警，超溫報警 · 水泵功率：0.37KW · 水箱容量：45L · 最大揚程:45M · 最大量程:45-75L/min · 凈重：150Kgs · 機器尺寸：76×65×110cm﹙L×W×H﹚
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| 真空系統(tǒng) | · 型號：VRD-8 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：2.2L/s · 抽氣口：KF25接口
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| 外形尺寸 | ·1300L×700W×1300Hmm
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| 重量 | ·約100KG |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護 · 特別提示： ·1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) ·2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 認證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認證 證書編號：M.2021.206.C67999 ·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
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| 注意事項 | ·為了保護石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環(huán)境中進行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM
·C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)
·熔融時間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品，請聯(lián)系我們的工程師咨詢
·感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi
·必須在氣缸上安裝減壓閥，將壓力限制在3psi以下，以保證安全運行。點擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝
·當出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過3psi，請立即打開氣體釋放閥門，以防止不可預見的損壞 |
| 應(yīng)用 | ·PVT(物理蒸氣運輸)系統(tǒng)通過改變一個合適的坩堝，使其能夠成為生長長型碳化硅晶體，請點擊下面的圖片或問我們的工程師如何
·此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
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應(yīng)用注意事項
| · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向剛玉管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。 · 實驗時，石英管內(nèi)必須通入惰性氣體保護氣氛，以保護石墨坩堝和C型熱電偶。 · 氣體的流量應(yīng)＜200SCCM（200ml/min） |
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