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等離子鍍膜設(shè)備—產(chǎn)品對比速覽

發(fā)布時間:2020-06-16

性能參數(shù)


設(shè)備型號

靶臺加熱溫度

濺射條件

設(shè)備特點

VTC-3RF

最高500℃

300W自動匹配     100W手動匹配

1、基臺可旋轉(zhuǎn)加

2、三靶頭設(shè)計,可濺射金屬和氧化物

VTC-1RF

最高500℃

300W自動匹配     100W手動匹配

單個靶頭,設(shè)備小巧

VTC-2RF

最高500℃

300W自動匹配     100W手動匹配

單個靶頭,設(shè)備小巧

VTC-2DC

最高500℃

DC500W

單個靶頭,設(shè)備小巧

VTC-16-3HD

最高500℃

濺射電流:0-50mA   單次工作時間:0-5min

1、三靶頭設(shè)計

2、觸摸屏式控制面板

VTC-16-D

可選加熱基臺

濺射電流:0-50mA       濺射時間:0-120S

小型直流,基臺高度可調(diào)

VTC-16-SM

可選加熱基臺

濺射電流:0-150mA

1、旋轉(zhuǎn)基臺

2、靶基距可調(diào)

VTC-5RF

最高600℃


5個1英寸靶頭設(shè)計

VTC-600-2HD

最高500℃

DC 500W        RF300W

一靶頭與射頻電源相連,一靶頭與直流電源相連

VTC-600-3HD

最高500℃


1、三靶頭設(shè)計

2、不銹鋼腔體

VTC-16PW

振動樣品臺


1、對粉體材料進行包覆

2、設(shè)備可在手套箱內(nèi)使用




外形參數(shù)


設(shè)備型號

靶材尺寸

濺射腔體

設(shè)備尺寸

重量

VTC-3RF

Φ50×(0.1-3)mm

278 OD×272 ID×310Hmm

700×770×1900mm

80kg

VTC-1RF

Φ25.4×(0.1-3)mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm


VTC-2RF

Φ50×(0.1-3)mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm


VTC-2DC

Φ50×(0.1-5)mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm


VTC-16-3HD


166 OD×150 ID×150Hmm

460×330×540mm

50kg

VTC-16-D

Φ50×(0.1-2.5)mm

166 OD×150 ID×150Hmm

460×330×540mm

20kg

VTC-16-SM

Φ50×(0.1-2.5)mm

166 OD×150 ID×290Hmm

460×330×520mm

20kg

VTC-5RF

Φ25×(0.1-3)mm

470×445×522Hmm


60kg

VTC-600-2HD

Φ50×(0.1-5)mm

Φ300×300mmH

1300×660×1200mm

160kg

VTC-600-3HD

Φ50×(0.1-5)mm

Φ300×300mmH

1300×660×1200mm

160kg

VTC-16PW

Φ50×(0.1-5)mm

165 OD×150 ID×250Hmm

460×330×540mm

20kg





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