名稱型號 | ·2100℃上稱重CZ晶體生長爐 SKJ-50CZ |
特點 | ·采用高精度上稱重模式CZ晶體生長 ·配有中頻/高頻電源,可以真空感應(yīng)熔煉和磁懸浮真空熔煉爐兩用, ·真空度最高5.0*10-3pa ·配有自動控制和預(yù)設(shè)工藝的軟件系統(tǒng) |
基本參數(shù) | ·電源電壓:三相 AC380 50/60Hz ·總功率:80KW ·最高熔煉溫度:2100D℃ ·中頻電源功率:35KVA,電源頻率:1-20KHZ, 輸出電流:10-70A 輸出電壓:70-550V ·高頻電源功率:30KVA,電源頻率:20-200KHZ,輸出電流:7-70A |
真空腔體 | ·采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體,確保設(shè)備工作室表面溫度≤70℃ ·腔體尺寸:Ф500*700mmH ·腔門上有一個80*300mm的方形觀察窗口,方便晶體生長過程中實時觀察樣品的熔化和生長情況 ·腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.5MPa的機(jī)械壓力表用于觀察腔室內(nèi)壓力情況 ·預(yù)留G1/4進(jìn)氣口,并通過一個不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷 ·預(yù)留G1/4出氣口,并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷 ·安裝了一個安全泄壓閥,當(dāng)腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓,確保腔體的安全 ·裝有攝像頭,用于攝錄晶體生長過程 ·裝有紅外測溫儀,用于測量坩堝內(nèi)物料溫度 |
提拉機(jī)構(gòu) | ·采用伺服電機(jī)+諧波減速器來提拉籽晶桿 ·采用高精度直線模組可以防止晶體生長提拉過程中卡頓 ·體移動有慢速提拉和快速移動兩種模式 ·提拉行程:200mm ·提拉速度:0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào),精度+/-1um) ·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:1-60 rpm ·可根據(jù)客戶要求來定制爐體移動速度范圍 |
上稱重系統(tǒng) | ·設(shè)備標(biāo)配一套上稱重系統(tǒng),可以精確的控制晶體生長過程中的工藝參數(shù)。 ·秤量程:5KG ·稱精度:0.1g |
控制系統(tǒng) | ·整個電路控制系統(tǒng)在工控機(jī)上面實現(xiàn)操作控制,采用國際通用的 labview 軟件進(jìn)行控制,可以實現(xiàn)以下功能: ·生長斜率及控制參數(shù)設(shè)定; ·控制晶升,動態(tài)可調(diào) ·控制晶轉(zhuǎn),可設(shè)定多段速自動執(zhí)行 ·檢測晶體實時重量并反饋至歐陸表組成閉環(huán)控制 ·腔體真空和壓力檢測 ·報警監(jiān)測,晶升晶轉(zhuǎn)中頻氣壓及稱量程等上限報警 ·實時數(shù)據(jù)曲線,晶體生長圖例模擬 ·數(shù)據(jù)記錄,自動存儲運(yùn)行數(shù)據(jù) |
坩堝系統(tǒng) | ·坩堝組件可以選配:銥坩堝,鎢坩堝,BN坩堝,剛玉坩堝,Ta坩堝,石墨等 ·坩堝尺寸:外徑100mm,壁厚3mm,高80mm,坩堝外部采用石英砂作為保溫材料,最外層通過一個石英管進(jìn)行固定。(注:坩堝尺寸可以依據(jù)要求定制) ·此單晶爐常規(guī)可生長晶體尺寸為≤Ф2”*高度100mm (如需要大尺寸單晶生長,可聯(lián)系我司) ·注:晶體生長尺寸不僅和提拉行程有關(guān)系,還和溫度、坩堝大小、保溫組件,線圈大小等因素相關(guān), |
UPS電源 | ·系統(tǒng)配置一套 UPS 電源,用于緊急斷電情況下,對整個控制系統(tǒng)進(jìn)行不間斷供電 ? 額定功率:5 KVA ? 輸入電源電壓:AC 220V ? 輸入頻率:40-70HZ ? 輸出電壓:AC 220V ? 輸出頻率:50/60 HZ ? 功率因數(shù):99.9%(滿載) |
紅外測溫系統(tǒng) | ·測溫范圍:100℃—3000℃ ·測溫精度:±1% FS ·重復(fù)精度:±0.5% FS ·距離系數(shù): 400:1 ·響應(yīng)時間(95%): ≤50 ms ·發(fā)射率:0.10~1.00 可調(diào) 步長:0.01 ·模擬輸出:4---20mA ·工作電壓:24VDC ± 20% ·目視瞄準(zhǔn),可見光斑指示 |
水冷系統(tǒng) | ·系統(tǒng)配置兩套水冷設(shè)備,一套給感應(yīng)電源和腔體水冷,一套給磁懸浮熔煉坩堝水冷。 ·感應(yīng)電源和腔體水冷設(shè)備技術(shù)參數(shù): ·工作電流:8.4-34.6A ·制冷量:49474Btu/h ·最大流量:117L/min ·水箱容量:75L 磁懸浮熔煉坩堝水冷設(shè)備技術(shù)參數(shù): ·工作電流:2.3-13A ·制冷量:17510Btu/h ·水箱容量:15L ·出入水口: 4 分內(nèi)牙接口 ·最大流量:70L/min |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵參數(shù) ·型號:VRD-48 ·抽氣口接口尺寸:KF40 ·抽氣速率:(48m3/h)13.3L/S ·電機(jī)功率:1500 W ·極限壓強(qiáng)4*10-2 Pa 分子泵參數(shù) ·抽氣速率:700L/s ·極限壓強(qiáng):6×10-6 Pa ·氣動時間≤9min ·額定轉(zhuǎn)速:3600rpm/min 冷卻方式 ·抽氣口接口尺寸:CF160 |
產(chǎn)品尺寸和重量 | ·爐體尺寸長寬高:1250*1150*2700mm ·電氣柜尺寸長寬高:565*800*1740mm ·中頻電源控制柜尺寸:700*400*835mm ·高頻電源+中頻電源本體尺寸長寬高:1320*820835mm ·UPS電源尺寸長寬高:780*450*600 ·重量:1.5噸 |
認(rèn)證 | ·通過CE認(rèn)證 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
質(zhì)保 | ·質(zhì)保一年,終生維護(hù)(不包括,爐膛和加熱元件) |
操作展示視頻 | 展示視頻 操作視頻 |
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