名稱型號 | ·1200℃五溫區(qū)LPE液相外延生長爐用于YIG晶體 VTF-1200X-LPE |
產(chǎn)品特點 | ·控制系統(tǒng)采用觸控一體機(jī)控制 ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。 ·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,最大程度的減少能量損失。 ·該設(shè)備采用模塊化設(shè)計,分上中下三部分可以拆開運輸,方便進(jìn)入實驗室和運輸。 ·電動升降樣品臺,便于客戶取放樣品和二次加料 ·多片式石英管堵,提高潔凈度 ·帶有石英的隔離內(nèi)腔 |
加熱爐系統(tǒng) | ·電壓:三相 AC380 50/60Hz ·最高溫度: 1200℃ (<30min) ·加熱爐最大功率:17KW ·額定溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率:≤10℃/min ·加熱區(qū)長度:五個溫區(qū)1000mm(5*200mm),每個溫區(qū)獨立控制 ·控溫精度:±1℃ ·熱電偶:五根K型熱電偶 ·加熱元件:康泰爾電阻絲 |
溫控系統(tǒng) | ·采用觸摸屏+溫控器模式 ·包含一款歐陸EPC3000系列控制器 ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化24段可編程控制 ·默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口 ·控溫精度:±1℃ ·所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可,并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測試 |
提拉機(jī)構(gòu) | ·采用伺服電機(jī)+諧波減速器來驅(qū)動籽晶桿上下移動 ·私服電機(jī)+高精度直線模組保證籽晶桿在移動過程中順滑 ·籽晶桿移動有慢速提拉和快速移動兩種模式 ·籽晶桿可移動范圍:750mm ·提拉速度范圍:0.02mm/hr--10mm/hr(可調(diào),精度+/-1um) ·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:1-60RPM ·籽晶桿裝到三抓夾頭上,三抓夾上方裝有彈簧可以調(diào)節(jié)籽晶桿旋轉(zhuǎn)時同心度 |
觸摸屏控制 | ·觸摸屏控制面板可控制單晶提拉速度,籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度和加熱爐的升溫曲線 ·觸摸屏控制面板可以控制樣品臺升降 ·具有溫度曲線保存功能,溫度曲線數(shù)據(jù)可以保存記錄和導(dǎo)出 |
法蘭,管子,樣品臺 | ·爐膛內(nèi)裝有一根外徑150*1175mmm石英管 ·石英管通過上下法蘭固定,不銹鋼法蘭為非密封的(注:法蘭主要作用是支撐石英管) ·爐膛上部通過石英管堵保溫,下部通過泡沫陶瓷管堵保溫 ·下法蘭裝有支撐桿和樣品臺 ·樣品臺可放置最大坩堝直徑100mm ·樣品臺和坩堝采用電動升降方式,方便取放樣 ·下法蘭和固定板之裝有四個彈簧,可以調(diào)節(jié)下法蘭水平 |
產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸:1020*1185*3420mm(長*寬*高) ·下部外形尺寸:1020*1185*800mm(長*寬*高) ·中部外形尺寸:1020*1185*1300mm(長*寬*高) ·上部外形尺寸:1020*1185*1320mm(長*寬*高) |
重量 | ·約290kg |
保質(zhì)期 | ·1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
操作展示視頻 | 操作展示視頻 |
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