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1200℃五溫區(qū)LPE液相外延生長爐用于YIG晶體
型號:
VTF-1200X-LPE
產(chǎn)品概述:
VTF-1200X-LPE 是一個五溫區(qū)頂部籽晶提拉單晶制備(液相外延LPE)系統(tǒng),可用于制備YIG等外延膜。該系統(tǒng)由立式五溫區(qū)加熱爐,頂部提拉系統(tǒng)和底部電動送樣機(jī)構(gòu)組成,爐內(nèi)配有外徑150mm(6英寸)石英管,最高溫度可達(dá)1200℃,加熱爐配有歐陸溫控器,具有24段可編程程序,恒溫精度高達(dá)±0.1°C。此外還配備了精密的提拉機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),提拉速度0.02-10mm/h,籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:1-60RPM。
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名稱型號

·1200℃五溫區(qū)LPE液相外延生長爐用于YIG晶體  VTF-1200X-LPE


產(chǎn)品特點

·控制系統(tǒng)采用觸控一體機(jī)控制

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,最大程度的減少能量損失。

·該設(shè)備采用模塊化設(shè)計,分上中下三部分可以拆開運輸,方便進(jìn)入實驗室和運輸。

·電動升降樣品臺,便于客戶取放樣品和二次加料

·多片式石英管堵,提高潔凈度

·帶有石英的隔離內(nèi)腔

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加熱爐系統(tǒng)

·電壓:三相 AC380   50/60Hz

·最高溫度: 1200℃ (<30min)

·加熱爐最大功率:17KW

·額定溫度: 1100℃

·推薦升溫速率:≤10℃/min

·加熱區(qū)長度:五個溫區(qū)1000mm(5*200mm),每個溫區(qū)獨立控制

·控溫精度:±1℃

·熱電偶:五根K型熱電偶

·加熱元件:康泰爾電阻絲

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溫控系統(tǒng)

·采用觸摸屏+溫控器模式

·包含一款歐陸EPC3000系列控制器

·PID自動控溫系統(tǒng)

·智能化24段可編程控制

·默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口

·控溫精度:±1℃

·所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可,并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測試

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提拉機(jī)構(gòu)

·采用伺服電機(jī)+諧波減速器來驅(qū)動籽晶桿上下移動

·私服電機(jī)+高精度直線模組保證籽晶桿在移動過程中順滑

·籽晶桿移動有慢速提拉和快速移動兩種模式

·籽晶桿可移動范圍:750mm

·提拉速度范圍:0.02mm/hr--10mm/hr(可調(diào),精度+/-1um)

·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:1-60RPM

·籽晶桿裝到三抓夾頭上,三抓夾上方裝有彈簧可以調(diào)節(jié)籽晶桿旋轉(zhuǎn)時同心度

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觸摸屏控制

·觸摸屏控制面板可控制單晶提拉速度,籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度和加熱爐的升溫曲線

·觸摸屏控制面板可以控制樣品臺升降

·具有溫度曲線保存功能,溫度曲線數(shù)據(jù)可以保存記錄和導(dǎo)出

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法蘭,管子,樣品臺

·爐膛內(nèi)裝有一根外徑150*1175mmm石英管     

·石英管通過上下法蘭固定,不銹鋼法蘭為非密封的(注:法蘭主要作用是支撐石英管)

·爐膛上部通過石英管堵保溫,下部通過泡沫陶瓷管堵保溫

·下法蘭裝有支撐桿和樣品臺

·樣品臺可放置最大坩堝直徑100mm

·樣品臺和坩堝采用電動升降方式,方便取放樣

·下法蘭和固定板之裝有四個彈簧,可以調(diào)節(jié)下法蘭水平

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產(chǎn)品尺寸

·外形尺寸:1020*1185*3420mm(長*寬*高)

·下部外形尺寸:1020*1185*800mm(長*寬*高)

·中部外形尺寸:1020*1185*1300mm(長*寬*高)

·上部外形尺寸:1020*1185*1320mm(長*寬*高)

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重量

·約290kg


保質(zhì)期

·1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)


操作展示視頻

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       操作展示視頻

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