| 名稱型號 | ·坩堝移動管式爐 OTF-1200X-DVD |
| 產(chǎn)品特點 | ·通過伺服電機+減速機+壓縮真空波紋管實現(xiàn)坩堝在管內(nèi)移動 ·坩堝底部有測溫熱電偶實時檢測樣品溫度 ·左端法蘭采用卡箍連接方便取放樣品 ·可選擇改造為雙溫區(qū)管式爐，但需額外付費，以產(chǎn)生更高的熱梯度或更 長的恒溫區(qū)。 |
| 雙溫區(qū)加熱爐系統(tǒng) | ·輸入電源 AC 單相 220V 50/60HZ，最大功率：3.5KW ·最高工作溫度：1200℃ (＜30min)，長期工作溫度：1100℃ ·兩個溫區(qū)有獨立的控溫儀表控制溫度 ·熱電偶兩根：三根進口K型熱電偶，兩根用于爐子控溫，一根檢測樣品溫度。 ·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 ·加熱區(qū)長度：400mm ·推薦升溫速率：10℃/min ·石英管 外徑80mm x 內(nèi)徑74mm x 1000mm L ·包含一款 518P 型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃) ·PID 自動控溫系統(tǒng) ·智能化 30 段可編程控制 ·控溫精度：±1℃ ·默認 DB9 PC 通信連接端口
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| 不銹鋼密封法蘭系 統(tǒng) | ·不銹鋼密封法蘭，密封法蘭和石英管之間采用硅膠 O 型圈+壓環(huán)型圈密封方式。 ·左端法蘭裝有機械壓力表和進氣截止閥，1/4 英寸進氣口，用卡箍連接，方便拆卸， 如下圖。 ·左端法蘭和無桿氣缸連接側(cè)有石英隔熱擋板和石英坩堝，熱電偶測溫點位于樣品正下 方。如下圖 ·左端法蘭+無桿氣缸放置在直線滑臺上。 ·右端法蘭上裝有出氣截止閥，一個 KF25 接口用于抽真空。
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| 坩堝移動+PLC 系統(tǒng) | ·通過觸摸屏可視化控制操作 ·一個 K 型的鎧裝熱電偶通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監(jiān)測樣品的實際溫度。 ·通過伺服電機+減速機+壓縮真空波紋管來控制移動爐管內(nèi)的坩堝 (樣品臺)，最大行程為200mm。 ·在移動的過程中 保證整體密封性 ·通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為1mm/小時(可根據(jù)要求提供變速控制，需要定制速度購買前請與銷售溝通，但需額外付費) 。 ·在熱電偶上安裝了一個微型坩堝舟。 ·可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架，將收取額外的定制費
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| 真空系統(tǒng) (選配) | ·配套機械泵，真空度可以達到10-2ttor ·配套分子泵，真空度可以達到10-5ttor
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| 產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸：2400X450X700mm(長*寬*高) |
| 重量 | ·約150kg |
| 保質(zhì)期 | ·1年(不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
| 注意事項 | ·石英管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa； ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； ·對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥， 以防意外發(fā)生 (如爐管破裂，法蘭飛出等) ·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。 |
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