| 設備名稱型號 | ·2000℃快速升溫CVD/PVD管式爐（ 配備加熱樣品臺) GSL-2000X-RTP |
| 基本參數(shù) | ·電源：AC 220V 50HZ ·功率：1.5KW ·最高加熱溫度： 蒸發(fā)舟：2000℃（≤10s） 樣品臺：800℃（≤30min）；連續(xù)工作溫度：700℃ ·推薦升溫速率： 樣品臺：≤30℃/min 蒸發(fā)舟：≤100℃/s |
| 樣品加熱平臺和物料蒸發(fā)舟 | 樣品加熱平臺： · 氮化硅陶瓷片作為加熱元件，尺寸：52*12*4mm（可放置10*10mm的基片3片，其他尺寸可定制，） 陶瓷片底部有一個K型熱電偶，用于測量溫度； ·采用PID方式控制溫度 ·可設置50段溫度段 ·帶有超溫和斷熱電偶保護 ·控溫精度：±1℃ ·樣品臺最高加熱溫度：800℃（≤30min），連續(xù)工作溫度：700℃
物料蒸發(fā)舟： ·采用鎢舟（蒸發(fā)舟）作為加熱元件，可以實現(xiàn)快速加熱，測溫采用紅外測溫的方式，最快升溫速率可達100℃/S；放置物料鎢舟容積：0.15ml（直徑φ10mm*深度3mm）
·最高加熱溫度：真空狀態(tài)下 2000℃（≤10s） ·蒸發(fā)舟加熱系統(tǒng)有兩種加熱方式，一種是連續(xù)加熱方式，一種是脈沖加熱方式。
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| 樣品制冷平臺 （選配） | ·可根據(jù)客戶制備工藝不同，選配樣品制冷平臺。
·制冷樣品臺可放置樣品尺寸：≤φ20*5mm |
| 爐管與法蘭 | ·爐管材質(zhì)：高純石英管 ·爐管尺寸：外徑φ80*內(nèi)徑φ74*長度500mm ·整個爐管包裹在一個不銹鋼防護罩內(nèi) ·一對φ80mm的不銹鋼密封法蘭安裝在爐管兩端，采用硅膠O型圈密封，左端法蘭為水冷法蘭，法蘭上含有水管接頭，通過水管與水冷設備連接。 ·左端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為進氣口，一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷；安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力；一個KF25接口為備用接口。 ·左端法蘭的電極連接處安裝了一個電極防護罩，保證了實驗的安全性。 ·右端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為出氣口，一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷，一個KF25接口上安裝了一個不銹鋼三通，三通的KF16接口上安裝了一個皮拉尼真空計，另一個KF25接口為抽真空接口，通過波紋管和擋板閥與真空系統(tǒng)連接。 ·右端法蘭上焊接了四根電極線，分別與加熱線和熱電偶連接，電極延伸到法蘭內(nèi)部與內(nèi)部的加熱線和熱電偶連接。
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| 紅外測溫儀 | ·測量溫度范圍：400-2600℃ ·測量精度：±0.5%FS ·重復精度：0.2% ·分辨率：0.5℃ ·響應時間：＜5ms
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| 控制系統(tǒng) | ·設備殼體上安裝了一個7英寸的觸摸屏，蒸發(fā)舟的溫度控制和樣品臺的溫度控制均可在觸摸屏上設置與顯示
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| 水冷設備 | ·電源：AC220V 50HZ ·功率：1.7KW ·工作電流：0.7-8A ·制冷量：6274Btu/h ·水箱容量：10L ·出入水口：外徑12mm轉接頭 ·最大流量：16L/min
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| 真空系統(tǒng) | ·型號：VRD-8 ·抽氣速率：2.2 L/S ·電機功率：370 W ·極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） ·實際壓強：≤5 Pa（帶上爐管和密封法蘭，冷態(tài)下機械泵抽20分鐘） ·如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購國產(chǎn)或進口高真空機組
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| 設備外形尺寸 | ·600mm（L）*600mm（W）*1300mm（H）
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| 重量 | ·約90KG |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
| 使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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