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如何選擇管式爐

1根據(jù)實(shí)驗(yàn)所需的最高溫度選擇合適溫度區(qū)間的加熱爐。

A.選擇工作溫度時(shí)請(qǐng)注意儀器所能保持的最高溫度(< 1 小時(shí))和儀器能連續(xù)工的溫度(安全、連續(xù)使用的溫度)。如:

    科晶GSL-1700X                                      

    最高加熱溫度是 1700°C

 連續(xù)工作溫度是 1600°C

如有不清楚的地方,請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售

http://pnjoxzlx.cn/contact/columnsId=9 0&&i=26&comContentId=26.html

圖片2.png

B、儀器使用的加熱元件限制了加熱爐的最大工作溫度,目前我公司加熱元件分為四類:

  a.   250 ~ 1250°C   Fe-Cr-Al Ni-Cr-Al 合金加熱元件 或 紅外燈管加熱元件;

   采用 K 型熱電偶。

例如: 科晶 KSL-1200X-S

采用電阻絲加熱,K 型熱電偶測(cè)溫,最高加熱溫度 1200°C,長(zhǎng)時(shí)間使用 1100°C。

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  b.1300 ~ 1600°C 碳化硅加熱元件http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=384.html 采用 S 型熱電偶

 c.1600 ~ 1800°C MoSi2 加熱元件(禁止長(zhǎng)時(shí)間在 800°C 以下加熱

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=385.html

   采用 B 型熱電偶

2、根據(jù)樣品大小選擇合適的坩堝及再爐管管徑,選擇容積合適的加熱爐。(不建議不用坩堝載料直接將樣品放入爐管)

A.坩堝選擇:

 石英坩堝:≤1200°C 使用石英管,熱處理溫度超過 600°C 時(shí),請(qǐng)不要用氧化坩堝

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=376.html

    ≤1800°C 使理溫 900°C 時(shí),請(qǐng)來石坩堝

http://pnjoxzlx.cn/products_listA1_1/pmcId=1159.html

 石 墨 坩 堝 ≤ 2300 °C

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=1330.html

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例如:1、需要對(duì)粉末進(jìn)行 900°C 熱處理,選擇石英坩堝裝載樣品。

        2、需要將合金在 1600°C 融化,選擇氧化鋁坩堝。

B.管徑的選擇:

選擇好坩堝后,根據(jù)坩堝裝載樣品后的體積選擇合適的爐管管徑(一般買爐子會(huì)標(biāo)配有加熱爐管)

a.石英管 ≤1200°C 真空環(huán)境下最高 1000

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=364.html


型號(hào)

管徑

科晶 OTF 系列

OTF-1200X-S

Φ25、Φ50


OTF-1200X

Φ50、Φ60Φ70、Φ80Φ100、Φ130

科晶 GSL 系列

GSL-1100X-S

Φ20、Φ50


GSL-1100X-6-S

Φ152


GSL-1100X-8.5-S

Φ216

b.剛玉管 ≤1800°C 剛玉管不建議真空環(huán)境下使用

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=374.html


型號(hào)

管徑

科晶 GSL 系列

GSL-1400X

Φ60、Φ80


GSL-1500X

Φ80


GSL-1600X

Φ60Φ80


GSL-1700X

Φ60


GSL-1750X

Φ60


GSL-1800X

Φ60

例如:

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d.800°C≤SS310 :≤1000°C(高壓力/真空爐)

e.900°C≤超耐熱不銹鋼管:≤1000°C(高壓力/真空爐)

?。。?!多大的爐管放多大的坩堝及樣品

3、根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求選擇單溫區(qū)管式加熱爐和多溫區(qū)管式加熱爐,多溫區(qū)較單 溫區(qū)會(huì)設(shè)有多個(gè)熱電偶,n 溫區(qū)加熱爐的恒溫區(qū)比(n-1)溫區(qū)的加熱爐恒溫區(qū)要長(zhǎng),部分儀器尺寸變大。

管式爐的溫區(qū)作用及如何選擇?

 1)恒溫區(qū)的作用:

恒溫區(qū)一般指加熱爐內(nèi)的某一段區(qū)間內(nèi)各點(diǎn)溫度基本一致,樣品放置在這一區(qū)間內(nèi),樣品各處受到的溫度會(huì)基本一致。(中心區(qū)域溫差小于+ / - 1°C

 2)恒溫區(qū)不同帶來的變化:

恒溫區(qū)的增加或減少可能會(huì)改變儀器的尺寸,儀器整體會(huì)變長(zhǎng)變大。

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3)恒溫區(qū)選擇舉例

選擇合適的恒溫區(qū),一定要先根據(jù)實(shí)驗(yàn)樣品的尺寸或?qū)嶒?yàn)要求的受熱體積來選擇

A、實(shí)驗(yàn)樣品尺寸大于儀器恒溫區(qū),需要選擇多溫區(qū)來增加恒溫區(qū)的長(zhǎng)度,

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B、根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求需要多個(gè)溫度梯度時(shí),這就需要多溫區(qū)來實(shí)現(xiàn)

例如:通過物理沉積方式在基片上生長(zhǎng)二維材料,原料高溫?fù)]發(fā)后,利用載氣向溫端移動(dòng),一定溫度下在基片上生長(zhǎng)。相鄰兩個(gè)溫區(qū)最大溫差 300°C

請(qǐng)注意加熱爐加熱區(qū)分為總加熱區(qū)長(zhǎng)度(加熱源能覆蓋的區(qū)域)和恒溫區(qū)長(zhǎng)度。恒溫區(qū)總是小于總加熱區(qū)。請(qǐng)選擇一個(gè)恒溫爐區(qū)尺寸超過您樣品的加熱爐。

4根據(jù)功能選擇加熱爐:

①管式爐為基礎(chǔ)加熱系統(tǒng),您可以根據(jù)不同的需求選擇成套系統(tǒng)

CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和 2 維材料生長(zhǎng)系統(tǒng)等。例如:生長(zhǎng)石墨烯,所需要的 PECVD 系統(tǒng)

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整個(gè)系統(tǒng)包括加熱爐系統(tǒng)、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)、氫氣報(bào)警系統(tǒng)

低真空 CVD 系統(tǒng)

http://pnjoxzlx.cn/products_listA1_1/pmcId=1062.html

低真空 CVD 系統(tǒng)

http://pnjoxzlx.cn/products_listA1_1/pmcId=1063.html

PECVD

http://pnjoxzlx.cn/product/14835/type.html

HPCVD

http://pnjoxzlx.cn/product/14835/type.html

ALD

http://pnjoxzlx.cn/product/14835/type.html

②立式管式爐:加熱管垂直放置,以懸吊樣品的方式,為樣品提供淬火。

http://pnjoxzlx.cn/products_listA1/pmcId=1073.html

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③RTP(快速熱處理加熱爐):可以對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻

科晶 OTF-1200X-4-RTP

 最快 50°C/s 升溫速度,紅外燈管加熱

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=1115.html

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科晶 OTF-1200X-50-S

加熱爐加熱到某一溫度后,滑至樣品所在區(qū)域, 可以提高升溫速度,熱處理結(jié)束,將爐體移開, 使樣品所在區(qū)域暴露在空氣中,快速冷卻。

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=1121.html

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④高壓力/真空爐:特殊設(shè)計(jì)的鎳鉻合金和不銹鋼爐管,對(duì)樣品進(jìn)行高溫高壓和真空處理。http://pnjoxzlx.cn/products_listA1_1/pmcId=628.html

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⑤旋轉(zhuǎn)管式爐:爐管旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)可以更均勻的熱處理粉末,同時(shí)也可以達(dá)到粉末包覆的效果。http://pnjoxzlx.cn/products_listA1_1/pmcId=1072.html

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⑥特殊氣體處理能力:氫氣處理和高溫腐蝕研究特殊模型是可用的


5選擇有相關(guān)認(rèn)證的管式爐:

 合肥科晶所有爐子的電子元器件均采用 UL 認(rèn)證器件。

合肥科晶保證加熱爐可單臺(tái)可通過認(rèn)證可能會(huì)產(chǎn)生部分認(rèn)證費(fèi)用,具體請(qǐng)咨詢銷售)

http://pnjoxzlx.cn/wy4_detail/newsId=483.html

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6、選擇合適的真空泵真空系統(tǒng)

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=430.html

  國(guó)產(chǎn)高真空系統(tǒng)(分子泵)

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=1658.html

進(jìn)口高真空系統(tǒng)(分子泵)

http://pnjoxzlx.cn/productsA_detail/productId=429.html


7定制爐

后期補(bǔ)充。。。


8、如果您還有不明白的地方,請(qǐng)您聯(lián)系我們

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