參考文獻 | ·注:請參閱 Ceder 教授團隊使用該設(shè)備發(fā)表的優(yōu)秀文章:An autonomous laboratory for the accelerated synthesis of novel materials |
爐體結(jié)構(gòu) | ·雙層殼體結(jié)構(gòu),爐體開啟式設(shè)計 ·采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,達到高的加熱效率 ·加熱區(qū)長度300mm,恒溫區(qū)長度100mm(±5℃) ·最高溫度:1200℃≤1小時,長期工作1100℃ ·爐管尺寸:外徑130mm×內(nèi)徑120mm×長度750mm ·安裝有氣壓傳感器,可自動控制爐管內(nèi)的氣壓 ·設(shè)備中安裝有一個質(zhì)量流量計,可自動調(diào)節(jié)通入爐管中的氣流量 ·設(shè)備中標(biāo)配一臺筆記本電腦,用于自動化操作 |
密封法蘭 | ·130mm水冷法蘭,帶有硅膠密封圈,法蘭上安裝有閥門 ·設(shè)備中配有一個循環(huán)水冷機(圖1) ·右法蘭安裝在移動滑軌上,通過電機&壓縮氣體驅(qū)動法蘭打開和關(guān)閉 ·設(shè)備中配有一個空壓機(圖2) ·一個數(shù)字壓力傳感器安裝在設(shè)備上,可自動控制爐管內(nèi)氣壓,控制范圍1Pa~200KPa ·最高真空度10-4Torr (采用分子泵系統(tǒng)) ·設(shè)備中配有一臺機械泵,真空度可達10Pa(圖3) |
樣品架 | ·~100×100mm石英樣品架 ·樣品架安裝在右端滑動法蘭上 ·樣品架上可放置4個坩堝,配有8個氧化鋁坩堝(尺寸Φ40×40mm) ·可按照客戶要求定制樣品架和坩堝 |
控制面板&軟件 | ·觸摸屏控制面板,可設(shè)置各種參數(shù): ·爐管內(nèi)的氣壓(1-200KPa) ·進氣流速(0-2000ml/min) ·爐管內(nèi)氣體清洗(0-3次) · 溫度程序(加熱速率,保溫時間和冷卻速率),最多可達30段 ·密封法蘭開/關(guān) ·RJ45通訊接口安裝在控制面板上可用于連接PC或無線路由獲得遠程控制 ·包含有PC操作元件,可同時控制8臺設(shè)備 ·通訊密碼對用戶開放,可對接機器人,達到無人操作 |
可選 | ·全自動化操作:通過一個機械手臂,達到自動裝樣和取樣(圖1) ·增加自動化供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng),可實現(xiàn)全自動化CVD系統(tǒng)(圖2) ·自動化管式爐可以配合自動配料機,自動混料和自動壓料設(shè)備達到全自動化燒結(jié)過程(圖3) |
安裝要求 | ·電壓 220VAC +/- 10%, 3KW, ( 20A 空氣開關(guān) ) 單相, ·> 0.8MPa空壓機 ·> 16 ml/min 循環(huán)水冷機 |
警告 | 爐蓋比較重,打開時要小心,避免爐膛翻到 |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終身維護(不包含損耗品,如爐管,密封圈和熱電偶等) |
尺寸和重量 | ·尺寸: 780mm(L) x 770mm(W) x 820mm(H) ·重量:: ~ 160 Kg |
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