電源 | ·AC 208-240V 單相 50/60 Hz ·功率;1.5 KW (手套箱); 2.5 KW ( 鍍膜儀) ·總功率: 4.0 KW |
手套箱 | ·腔體尺寸: 1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H ·手套箱內(nèi) O2 & H2O 含量小于1PPM ·腔體材料: 304 不銹鋼,厚度3mm ·手套箱前倉門可開啟 |
真空腔體和樣品臺(tái) | ·鍍膜儀真空腔體采用SS304不銹鋼制作,安裝在手箱底部 ·頂部法蘭采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm,可手動(dòng)開啟 ·2個(gè)使用觀察窗口安裝在腔體上 ·等離子濺射頭和2個(gè)蒸發(fā)加熱源安裝在真空腔體底部 ·一個(gè)可加熱旋轉(zhuǎn)樣品安裝在頂部法蘭上,最大可安裝直徑4英寸樣品。 ·樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)速度: 5 rpm ·一個(gè)旋轉(zhuǎn)擋板安裝在法蘭底部,避免蒸發(fā)源和濺射頭之間相互污染 |
射頻濺射電源&濺射頭 | ·濺射電源:頻率13.5MHz,300W,自動(dòng)匹配功能 ·一個(gè)2英寸的濺射頭(帶水冷卻管道),安裝在真空腔體上 ·一個(gè)流量16L/min的循環(huán)水冷機(jī)安裝在手套量底部 ·RF濺射儀可濺射導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料 |
熱蒸鍍 | ·2個(gè)鎢線圈加熱源,帶有2個(gè)B型熱電偶和氧化鋁坩堝,安裝在真空腔體內(nèi)(圖1) ·1個(gè)控溫儀表,控溫精度±1℃,可設(shè)置30段溫度段(圖2) ·一個(gè)電源轉(zhuǎn)化按鈕,用于在2個(gè)加熱源之間轉(zhuǎn)化加熱 ·工作溫度: 200oC - 1700oC ·建議加熱速率: 0.3 oC/s (RT-1200 oC) 和 15 oC/s (1200oC - 1700 oC) ·配有4個(gè)氧化鋁坩堝和2個(gè)鎢絲加熱圈 圖1 圖2 |
真空泵 | ·KF25接口用于連接真空泵 ·最大真空度可達(dá)10-4Pa(采用分子泵系統(tǒng)) ·一個(gè)防腐型數(shù)字真空計(jì)安裝在真空腔體上 ·可在本公司選購各種真空泵 |
薄膜測厚儀 | ·真空腔體內(nèi)安裝有一個(gè)高精度薄膜測厚儀,可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜厚度 ·測量精度: 0.1 ? |
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