特點(diǎn) | EQ-Slide-300 是一款真空自動(dòng)滑行裝置,連接外徑80 mm爐管可在真空或氣氛下移入和移出樣品; 系統(tǒng)分為兩種工作模式,一種為快速移動(dòng)模式,可以實(shí)現(xiàn)樣品的快速升溫和快速降溫;另一種為慢速移動(dòng)模式,可以實(shí)現(xiàn)單晶和二維材料的生長(zhǎng)。 |
移動(dòng)機(jī)構(gòu) | ·精密螺桿由直流電機(jī)通過(guò)真空密封可伸縮的波紋管以兩種速度驅(qū)動(dòng): 快速移動(dòng)模式:300mm/min(恒速) 慢速移動(dòng)模式:0.5mm-30mm/min(可調(diào)) ·樣品移動(dòng)距離:1-300mm(可調(diào)) ·移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在移動(dòng)工作臺(tái)上,尺寸為600mmx600mmx600mm |
爐管/法蘭 | ·一套 KF25 真空接口和外徑 80 mm 真空密封法蘭,用于連接可伸縮波的紋管和帶有KF25接口的爐管; ·可根據(jù)客戶要求,選配φ100,φ60,φ25等其它尺寸,具體詳詢我們銷售人員 ·真空度:10-5 torr |
樣品架 | ·波紋管中間安裝一根帶有隔熱管堵的不銹鋼棒,棒中插入一根50x50mm石英樣品架,用于盛放CVD或退火的樣品 ·移動(dòng)機(jī)構(gòu)底部有一個(gè)高度可調(diào)的工作臺(tái),可以方便對(duì)齊 ·可以在樣品架下方放置一根 K 型熱電偶,用于監(jiān)測(cè)溫度 |
控制面板 | 移動(dòng)爐架上,有個(gè)7英寸觸摸屏面板和控制盒,可對(duì)所有移動(dòng)參數(shù)進(jìn)行編程和記錄/顯示樣品的溫度 |
尺寸圖 | |
操作視頻 | |
應(yīng)用提示 | 該設(shè)備僅匹配合肥科晶管式爐,如下鏈接 |
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