設(shè)備名稱(chēng)型號(hào) | 小型蒸發(fā)鍍膜儀 SPC-1 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | · φ6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品 · 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái),且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻 · 氣體流量端口和閥門(mén)內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn) |
基本參數(shù) | · 輸入電源:220V,50/60HZ · 功率:<700W |
真空腔室 | · 材質(zhì):高純石英 · 尺寸:外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L150mm · 密封法蘭: 采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封 · 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上 · 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體 · 真空度:<7.5×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵),<5×10-3 torr (采用渦旋分子泵) |
進(jìn)、出氣口 | · 進(jìn)氣接口為1/4NPS,可向真空腔室中通入惰性氣體,對(duì)腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。前面板上安裝了一個(gè)微量調(diào)節(jié)閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量 · 側(cè)面還有一個(gè)KF25的抽真空接口,內(nèi)置一個(gè)真空計(jì),可在觸摸屏上顯示腔室真空度 · 腔體頂部法蘭上有一個(gè)排氣口用于排氣 |
樣品臺(tái) | · 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻) · 旋轉(zhuǎn)速度:5 r/min · 樣品臺(tái)尺寸:直徑φ50mm (最大可放置2英寸的基片) · 樣品臺(tái)可選配帶加熱功能,最高加熱溫度可達(dá)500℃ |
溫控及加熱源 | · 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,鎢絲籃兩端的引線(xiàn)連接在法蘭帶內(nèi)部的接線(xiàn)柱上,接線(xiàn)柱的電極線(xiàn)與蒸發(fā)電源相連。電極上安裝了聚四氟絕緣套 · 鎢絲籃尺寸:φ1*22*20mm · 控溫方式:手動(dòng)控溫,通過(guò)旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)電源面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值,從而調(diào)節(jié)溫度 |
蒸發(fā)電源 | · 輸入電壓:AC 220V · 最大輸出功率:500W · 最大輸出電流:0-100A可調(diào) |
真空系統(tǒng)(選配) | · 型號(hào):VRD-8 · 電源:AC220V/50Hz · 功率:0.4KW · 極限真空度:5.0*10-1Pa(無(wú)負(fù)載) · 抽氣速率:2.2L/s · 抽氣口:KF25接口 |
設(shè)備外形尺寸 | 410mm(L)*350mm(W)*580mm(H) |
凈重 | 約40kg |
質(zhì)保 | 一年保修,終身技術(shù)支持 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。 |
注意事項(xiàng) | · 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓); · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全; · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。 · 蒸鍍電流大小取決于蒸鍍的鎢絲藍(lán),標(biāo)配的鎢絲藍(lán)建議電流≤40A · 蒸鍍儀在工作中嚴(yán)禁旋開(kāi)試樣室充氣閥充氣、關(guān)閉真空泵。 · 鎢絲藍(lán)必須在真空狀態(tài)下(<5Pa)才能通電加熱,否則會(huì)被氧化。 |
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