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小型蒸發(fā)鍍膜儀
關(guān)鍵字:
2英寸的樣品臺(tái)、φ6英寸的石英腔體
型號(hào):
SPC-1
產(chǎn)品概述:
SPC-1是一臺(tái)小型蒸發(fā)鍍膜儀,配有一個(gè)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)和一個(gè)獨(dú)立的電源單元,用于在直徑為 2 英寸的 SEM 樣品上鍍碳和金屬膜。
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設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)

小型蒸發(fā)鍍膜儀 SPC-1


產(chǎn)品特點(diǎn)

· φ6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品

· 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái),且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻

· 氣體流量端口和閥門(mén)內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn)


基本參數(shù)

· 輸入電源:220V,50/60HZ

  · 功率:<700W


真空腔室

· 材質(zhì):高純石英

· 尺寸:外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L150mm

· 密封法蘭:  采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封

· 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上

· 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體

圖片1.png

· 真空度:<7.5×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵),<5×10-3 torr (采用渦旋分子泵)


進(jìn)、出氣口

· 進(jìn)氣接口為1/4NPS,可向真空腔室中通入惰性氣體,對(duì)腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。前面板上安裝了一個(gè)微量調(diào)節(jié)閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

· 側(cè)面還有一個(gè)KF25的抽真空接口,內(nèi)置一個(gè)真空計(jì),可在觸摸屏上顯示腔室真空度

· 腔體頂部法蘭上有一個(gè)排氣口用于排氣


樣品臺(tái)

· 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻)

· 旋轉(zhuǎn)速度:5 r/min

· 樣品臺(tái)尺寸:直徑φ50mm (最大可放置2英寸的基片)

· 樣品臺(tái)可選配帶加熱功能,最高加熱溫度可達(dá)500℃

圖片2.png


溫控及加熱源

· 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,鎢絲籃兩端的引線(xiàn)連接在法蘭帶內(nèi)部的接線(xiàn)柱上,接線(xiàn)柱的電極線(xiàn)與蒸發(fā)電源相連。電極上安裝了聚四氟絕緣套

· 鎢絲籃尺寸:φ1*22*20mm

· 控溫方式:手動(dòng)控溫,通過(guò)旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)電源面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值,從而調(diào)節(jié)溫度

圖片3.png

蒸發(fā)電源

· 輸入電壓:AC 220V

· 最大輸出功率:500W

· 最大輸出電流:0-100A可調(diào)


真空系統(tǒng)(選配)

· 型號(hào):VRD-8

· 電源:AC220V/50Hz

· 功率:0.4KW

· 極限真空度:5.0*10-1Pa(無(wú)負(fù)載)

· 抽氣速率:2.2L/s

· 抽氣口:KF25接口

圖片4.png

設(shè)備外形尺寸

410mm(L)*350mm(W)*580mm(H)

圖片5.png

凈重

40kg


質(zhì)保

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

     2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。


注意事項(xiàng)

· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 蒸鍍電流大小取決于蒸鍍的鎢絲藍(lán),標(biāo)配的鎢絲藍(lán)建議電流≤40A

· 蒸鍍儀在工作中嚴(yán)禁旋開(kāi)試樣室充氣閥充氣、關(guān)閉真空泵。

· 鎢絲藍(lán)必須在真空狀態(tài)下(<5Pa)才能通電加熱,否則會(huì)被氧化。


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