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小型液體汽化系統(tǒng) (溫度和壓力可控, 適用于CVD和DLCVD)
關(guān)鍵字:
CVD實(shí)驗(yàn)、薄膜
型號(hào):
LVD-F1
產(chǎn)品概述:
LVD-F1是一款專(zhuān)門(mén)針對(duì)實(shí)驗(yàn)室中CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的一套系統(tǒng),其液體流量是通過(guò)一數(shù)字液體泵來(lái)控制,最小流量控制在0.007ml/min。液體被數(shù)字泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。LVD-F1能夠?qū)С龆喾N液體,比如ETOH, SnCl4,TiCl4r, SiHCl3, 和Zn(C2H5)2,還有多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用CVD方法生長(zhǎng)納米線和薄膜LVD-F1是一款極佳的研究工具。
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設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)

小型液體汽化系統(tǒng) (溫度和壓力可控, 適用于CVD和DLCVD)- LVD-F1

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 由數(shù)字液體泵控制液體流量,最大流量為10ml/min

· 一次不銹鋼罐加熱最高溫度500℃

· 二次加熱帶加熱最高溫度為200℃

· 用于材料研究中CVD方法生長(zhǎng)納米線和薄膜的合適設(shè)備

基本參數(shù)

· 電源:208-240VAC,單相50/60HZ

· 功率:2.2KW

液體流量控制系統(tǒng)

· 前面板上的一個(gè)調(diào)速旋鈕用于調(diào)節(jié)液體的流量大小,LED顯示屏上顯示進(jìn)液速度。注意:顯示屏上的數(shù)值是數(shù)字泵的轉(zhuǎn)速不是流量值,請(qǐng)對(duì)照換算表?yè)Q算成流量

圖片1.png

· 精確度:±0.5% F.S

· 流量:0-10ml/min可調(diào)

· 最小流量:0.1ml/min

· 設(shè)備背面其中一個(gè)φ6.35的卡套接頭為進(jìn)液口,將吸液管放置在盛有溶液的容器中,蠕動(dòng)泵可自動(dòng)抽取液體。

氣體流量控制

· 氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制,流量計(jì)量程:50-500ml/min

· 安裝了一個(gè)壓力表,可以觀察氣液混合罐中的氣體壓強(qiáng),壓力表量程:-0.1-0.15MPa

· 一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷,設(shè)備背面其中一個(gè)φ6.35的卡套接頭為進(jìn)氣口,通過(guò)四氟管與氣瓶相連

加熱系統(tǒng)

· 系統(tǒng)中含有兩個(gè)加熱部分,流體和氣體會(huì)在一個(gè)316不銹鋼罐中加熱,最高溫度達(dá)到550度,此罐已經(jīng)安裝在殼體中,此溫度由溫控儀表1控制,測(cè)溫?zé)崤紴镵型

· 從混氣罐到出氣口之間的蒸汽輸出管道為不銹鋼材質(zhì)的鋼管,加熱管最高溫度能達(dá)到200度,此溫度由溫控儀表2控制,測(cè)溫傳感器為PT100

圖片2.png

· 溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

· 控溫精度:±10℃

設(shè)備外形尺寸

340mm(L)*350mm(W)*600mm(H)

圖片3.png

重量

約18KG

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含密封圈等易損耗件)


注意事項(xiàng)

· 設(shè)備使用時(shí),應(yīng)先加熱。在一次加熱管與二次加熱管溫度達(dá)到要求時(shí)再打開(kāi)蠕動(dòng)泵通入液體

· 在實(shí)際使用過(guò)程中,根據(jù)所需調(diào)節(jié)流量的大小,過(guò)大的流量需要匹配更大的進(jìn)氣量,且如果氣壓過(guò)大,水流量過(guò)小也無(wú)法產(chǎn)生均勻氣體,反之進(jìn)水量過(guò)大,氣壓過(guò)小,可能會(huì)伴有水滴產(chǎn)生,影響實(shí)際使用效果。

· 連接出氣口與需連接的設(shè)備時(shí),應(yīng)注意連接管越短越好,在盡可能的前提下,縮短連接管的長(zhǎng)度,過(guò)長(zhǎng)的連接管可能會(huì)導(dǎo)致冷凝的現(xiàn)象,影響實(shí)際使用效果。


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