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桌面式紫外臭氧清洗機(12" x 12"腔室和最高150℃的加熱臺）
型號：
PCE-22-LD
產(chǎn)品概述：
PCE-22-LD是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM＆TEM,紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別清洗手段，特別適合清除一些有機化合物，紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌魵猓?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效的清除有機化合物。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱與型號

紫外臭氧清洗機 PCE-22-LD （科晶實驗室、科晶技術(shù)部2022.6.17審核）
產(chǎn)品特點

· 僅室內(nèi)使用；海拔高度5500英尺以內(nèi)；

· 溫度范圍：5-40℃；

· 最大相對濕度80%，最高30.5℃，40℃線性降至50%相對濕度；

· 主電源波動不超過額定電壓的10%；

· 污染等級2；臭氧水平（環(huán)境）測量＜45ppb

· 去除分子級別的污染物

· 清洗MEMS器件

· 清洗各種基片，如si,Ge,GaAs和各種氧化物單晶基片
基本參數(shù)

· 電源：AC 220V 50HZ/60hz

· 功率：最大1000W（加熱功率為800W）
腔體＆樣品臺

· 不銹鋼殼體

· 抽屜式樣品臺，以便放樣取樣（如下圖1）

· 基片臺尺寸：310mm*320mm

· 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

· 樣品臺與紫外燈的距離：20mm-40mm范圍內(nèi)可調(diào)（圖2）

· 樣品臺可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃

· 可設(shè)置8段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

· 照射設(shè)定時間：1min-9999min

圖片1.png 圖片2.png
觸摸屏＆加熱

· 一個4.5英寸的觸摸屏控制設(shè)備的加熱以及清洗功能

· 點擊觸摸屏上的“溫控程序”即可進(jìn)入程序設(shè)置界面，內(nèi)置溫控儀表采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升溫程序，設(shè)備只顯示8段升溫程序，可根據(jù)實際要求進(jìn)行添加

· 設(shè)備加熱前需進(jìn)行預(yù)熱處理


圖片3.png
排氣口

· 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

· 請將鋁波紋管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外

· 橡膠管長度8米

圖片4.png
紫外燈

· UV燈管：210W

· 功率：55W

· 發(fā)出光的波長：254nm和185nm

· 照射區(qū)域：200*200mm

· 可以清潔直徑最大為12英寸×35mm的晶體晶片

圖片5.png
設(shè)備外形尺寸

550mm（L）*520mm（W）*335mm（H）


圖片6.png
凈重

約30KG
質(zhì)保

一年保修，終身技術(shù)支持

 使用注意事項

· UV裝置應(yīng)由工礦企業(yè)、院校等相關(guān)專業(yè)人員操作或指導(dǎo)使用。

· 嚴(yán)禁用眼睛直接看點亮中的UV燈管，否則會對眼睛造成傷害，非常危險。

·  O3臭氧是刺激性臭及強氧化性的氣體，對身體有害。應(yīng)將裝置產(chǎn)生的臭氧利用排氣管道將其排向室外。

· 應(yīng)避免在高溫、多濕、多塵、腐蝕氣體、酸堿性等的環(huán)境中使用。

· 為保護(hù)生命，請務(wù)必連接接地線，并保證可靠。

· 清掃等作業(yè)時必須先將電源切掉。

·  未經(jīng)許可不可對本裝置進(jìn)行改造或加工，本公司一概不負(fù)對已改造、加工設(shè)備的責(zé)任。


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