設(shè)備名稱(chēng)型號(hào) | 恒壓控制系統(tǒng)GZK-PID-VRD24 (科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部2022.6.15審核) |
產(chǎn)品特點(diǎn) | · PLC、觸摸屏控制,觸摸屏顯示真空度及各項(xiàng)工作狀態(tài),一鍵式操作,方便快捷。 · 通過(guò)變頻器來(lái)PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速?gòu)亩刂瞥闅馑俾?,使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配,從而達(dá)到精確的恒壓控制 · 600*600的承重臺(tái)面,可配合科晶其他設(shè)備使用,節(jié)省空間 |
真空泵 | · 型號(hào):VRD-24 · 電源:220V 50/60HZ · 進(jìn)氣口:KF25 · 抽速:50HZ:6.6L/S 60HZ:7.9L/S · 功率:50HZ:1.1KW 60HZ:0.75KW · 極限真空:4*10-1Pa(不帶負(fù)載) |
變頻器 | · 輸入:AC220V · 輸出:3*AC380V |
數(shù)顯防腐真空計(jì) | · 型號(hào):PGC-554 · 電源:DC24V · 測(cè)量范圍:3.8E-5-1125torr |
操作面板 | 界面上帶真空顯示值和設(shè)定值,一鍵式操作,方便快捷 |
壓力恒定控制范圍 | 壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣): 760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照進(jìn)氣量為500sccm) 600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照進(jìn)氣量為300sccm) 300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照進(jìn)氣量為100sccm) 180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照進(jìn)氣量為50sccm) 壓力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr(±%10) >2.5torr-----10torr(±%40) >10 torr------200torr(±%5) |
外形尺寸 | 600*600*700mm |
重量 | 98KG |
可選 | |
保質(zhì)期 | 1年(不包含爐管,硅膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
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