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恒壓系統(tǒng)
型號(hào):
GZK-PID-VRD24
產(chǎn)品概述:
GZK-PID-VRD24恒壓系統(tǒng)通過(guò)PID控制真空泵的轉(zhuǎn)速來(lái)控制抽氣速率,進(jìn)而獲得腔室壓力 的精密測(cè)量和恒壓控制,與我公司的管式爐/鍍膜儀等設(shè)備相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)CVD、PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制,廣泛用于擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、混氣配氣系統(tǒng)及其他分析儀器中。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)

恒壓控制系統(tǒng)GZK-PID-VRD24 (科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部2022.6.15審核)


產(chǎn)品特點(diǎn)

· PLC、觸摸屏控制,觸摸屏顯示真空度及各項(xiàng)工作狀態(tài),一鍵式操作,方便快捷。

· 通過(guò)變頻器來(lái)PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速?gòu)亩刂瞥闅馑俾?,使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配,從而達(dá)到精確的恒壓控制

· 600*600的承重臺(tái)面,可配合科晶其他設(shè)備使用,節(jié)省空間


真空泵

· 型號(hào):VRD-24

· 電源:220V 50/60HZ

· 進(jìn)氣口:KF25

· 抽速:50HZ:6.6L/S

      60HZ:7.9L/S

· 功率:50HZ:1.1KW

      60HZ:0.75KW

· 極限真空:4*10-1Pa(不帶負(fù)載)


變頻器

· 輸入:AC220V

· 輸出:3*AC380V


數(shù)顯防腐真空計(jì)

· 型號(hào):PGC-554  

· 電源:DC24V

· 測(cè)量范圍:3.8E-5-1125torr


圖片1.png

操作面板

圖片2.png



界面上帶真空顯示值和設(shè)定值,一鍵式操作,方便快捷


壓力恒定控制范圍

壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣):

760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照進(jìn)氣量為500sccm)

600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照進(jìn)氣量為300sccm)

300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照進(jìn)氣量為100sccm)

180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照進(jìn)氣量為50sccm)

壓力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr(±%10)

                  >2.5torr-----10torr(±%40)

                  >10 torr------200torr(±%5)


外形尺寸

600*600*700mm


圖片3.png

重量

98KG


可選

企業(yè)微信截圖_20241104135550.jpg

保質(zhì)期

1年(不包含爐管,硅膠O型圈和加熱元件等損耗件)


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附件

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