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氣氛可控型旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)
關(guān)鍵字:
轉(zhuǎn)速6K RPM&最大6英寸基片
型號(hào):
VTC-200PV
產(chǎn)品概述:
VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機(jī)可以對(duì)涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空,使樣品在完全真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用,對(duì)腔體抽真空時(shí)采用樣品卡盤(pán)固定樣品。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)不對(duì)腔體抽真空工作時(shí)利用真空盤(pán)吸附的方式將樣品固定在樣品吸盤(pán)上,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi),節(jié)約材料。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)—VTC-200PV (2019.12.27—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍:0—60s。

2、樣品可采用真空吸附的方式進(jìn)行固定,也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定,操作簡(jiǎn)便。

3、吸盤(pán)真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán),且更換方便簡(jiǎn)單。

6、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī),無(wú)級(jí)調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

7、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時(shí)采用無(wú)油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。

8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層

9、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層,此時(shí)需要用粘接基片或夾持基片的方式對(duì)被涂基片進(jìn)行固定。

10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能。

11、全英文操作系統(tǒng)。

12、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止.

13、控制器采用控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。

基本參數(shù)

1、電源:220V   50HZ

2、功率:350W/24V

3、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm

4、可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段,

5、每段增減速率設(shè)置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時(shí)間范圍:0-60s

6、吸盤(pán)規(guī)格:φ100㎜

7、腔體真空度可達(dá)1Torr(VRD-8機(jī)械泵連續(xù)工作)



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷(xiāo)售部

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:φ250mm×300mm;

重量:25kg

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

φ100mm真空吸盤(pán)

1個(gè)

2

中心定位器

1個(gè)

3

滴液器

1個(gè)

4

卡盤(pán)2” 3” 4”

1個(gè)

5

無(wú)油真空泵

真空泵

1臺(tái)

6

雙擊旋片真空泵VRD-8

1臺(tái)

可選配件

機(jī)械泵        

VRD-16機(jī)械泵             進(jìn)口移液器          國(guó)產(chǎn)移液槍          其它尺寸的真空吸盤(pán)

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