自拍无码中文字幕_一级无码激情在线看_日韩精品电影免费在线观看_亚洲处破女av日韩精品_99久久精品无码一区二区麻豆_草莓视频成人下载_黄色视频国产免费播放_香港经典a毛片免费观看播放_成人首发大香蕉_男生和女生在一起打牌的很痛的app

1200℃雙溫區(qū)連續(xù)生長(zhǎng)卷對(duì)卷PECVD系統(tǒng) (φ80mm x 1400 mm,溫區(qū)長(zhǎng)440mm)
型號(hào):
OTF-1200X-II-PE-RR
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置,等離子射頻電源,1200℃雙溫區(qū)管式爐,質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?;L(zhǎng)。
免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會(huì)造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差,請(qǐng)勿復(fù)制或者截圖。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù),請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請(qǐng)勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同,科晶公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請(qǐng)點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對(duì)大陸地區(qū)客戶,購買前請(qǐng)與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

1200℃雙溫區(qū)連續(xù)生長(zhǎng)卷對(duì)卷PECVD系統(tǒng)(φ80mm x 1400 mm,溫區(qū)長(zhǎng)440mm)—OTF-1200X-II-PE-RR (2019.12.25—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

? 質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

? 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi),可保證銅箔在密閉的生長(zhǎng)條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng),可有效的實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備。

加熱爐參數(shù)

? 最高溫度:1100oC(<30min);連續(xù)工作溫度:< 1000℃;

? 工作電源:AC 220V,50/60Hz,功率:3KW;

? 兩個(gè)PID溫度控制器以及50段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。


加熱爐圖1.jpg    溫控儀表.JPG



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置

? 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)及進(jìn)出料,銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào);

? 配置一卷約5 kg的銅箔,銅箔寬度:65mm,銅箔厚度0.025mm;

? 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻;

? 可根據(jù)要求提供特定的卷繞速度控制器及密封法蘭。


卷對(duì)卷.png

石英氣體噴嘴

? 石英氣體噴嘴可將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開通入,有效地減少副反應(yīng)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。


石英氣體噴嘴.png

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 整體尺寸:2400 mm L ′600mmW′1250mm H;

? 凈重:260kg;

? 運(yùn)輸重量:500 kg。


設(shè)備尺寸.png

認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

科晶應(yīng)用技術(shù)實(shí)驗(yàn)室利用PECVD在不同功率(75W、150W、300W)條件下沉積Sb2Se3薄膜,實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下:


圖片6.jpg



組別

SEM結(jié)果

元素百分比



Sb(%)

Se(%)

未經(jīng)任何處理的樣品

1.jpg

2.jpg

40.01

59.99

75W等離子體處理5 min

3.jpg

4.jpg

41.04

58.96

150 W等離子體處理5 min

5.jpg

6.jpg

41.64

58.36

300 W等離子體處理5 min

7.jpg

8.jpg

41.86

58.14


小結(jié):

(1)等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌,同時(shí)改變Sb2Se3的組成;

(2)隨著射頻電源功率的增加,Sb2Se3中的Se百分含量降低。




組別

SEM結(jié)果

元素百分比



Sb(%)

Se(%)

10W、3Pa條件下沉積Sb2Se3

9.jpg

10.jpg

40.01

59.99

75W、133Pa條件下沉積Sb2Se3

11.jpg

12.jpg

70.28

29.72

75W、3Pa且補(bǔ)充0.1g Se粉沉積Sb2Se3

13.jpg

14.jpg

43.13

56.87

75W、3Pa且補(bǔ)充0.02g SnSe2粉末(10%質(zhì)量比Sb2Se3)沉積Sb2Se3

15.jpg

16.jpg

Sn: 22.78 Sb: 25.77

51.44


小結(jié):

(1)低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3;

(2)高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜;

(3)添加Se會(huì)破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比;

(4)當(dāng)SnSe2質(zhì)量比為10%時(shí),可以得到Sb:Sn摩爾比接近于1的薄膜,該方法適用于摻雜。



XRD結(jié)果

圖片9.jpg

警示

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02 MPa;

? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

? 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃;

? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài);

? 射頻電源工作時(shí),請(qǐng)勿觸碰。

應(yīng)用技術(shù)提示

? 通入爐內(nèi)氣體流量需小于200 sccm,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管造成沖擊;

? 加熱時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02 MPa,需立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂、法蘭飛出等);

? 射頻電源在低氣壓、低功率條件下起輝。

防腐型真空表

(可選)

? 輸入電源24V,1A  DC(配有電壓轉(zhuǎn)換器);

? 測(cè)量范圍3.8′10-5-1125 Torr;

? 數(shù)據(jù)顯示:數(shù)顯(屏幕尺寸為20′14mm),其單位為torr

? 連接:1/8"NPT 接頭

? 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H)


配件真空表.jpg

石英管

? 石英管尺寸:F80′1400mm


配件爐管.jpg

壓力恒定控制系統(tǒng)

壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣):

760mtorr(100Pa)—225torr(30000Pa)(按照進(jìn)氣量為500sccm)

600mtorr(80Pa)—200torr(26660Pa)(按照進(jìn)氣量為300sccm)

300mtorr(40Pa)—185torr(24660Pa)(按照進(jìn)氣量為100sccm)

180mtorr(24Pa)—100torr(13333Pa)(按照進(jìn)氣量為50sccm)

壓力恒定控制精度:180mtorr—2.5torr(±5%)

                 >2.5torr—10torr(±4%)

                 >10 torr—200torr(±2%)


壓力恒定系統(tǒng).jpg

溫儀表

(可選)

? 單回路、雙回路和三回路控制模式;

? 每個(gè)回路可實(shí)現(xiàn)雙輸入,雙保護(hù);

? 各回路可PID、串級(jí)、比率等回路控制;

? 數(shù)碼顯示,配備7個(gè)按鍵,可用于進(jìn)行各控制回路的切換和參數(shù)修改;

? 最多可存儲(chǔ)50個(gè)程序,每個(gè)程序最多可有3個(gè)不同的設(shè)定值(即3條不同的曲線),最多可設(shè)置500段升降溫程序;

? 通訊方式多樣,Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口,可連接PC進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。


歐陸.jpg

真空系統(tǒng)

(可選)

? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進(jìn)口高真空設(shè)備,以滿足在不同真空條件下的實(shí)驗(yàn)需求。


低真空系統(tǒng)

國產(chǎn)高真空系統(tǒng)

進(jìn)口高真空系統(tǒng)

低真空系統(tǒng).png

高真空.jpg

進(jìn)口高真空.png

                 

供氣系統(tǒng)

(可選)

? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計(jì)可供選擇,以實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。


單通道浮子

單通道質(zhì)子

兩通道浮子

兩通道質(zhì)子

多通道浮子(防腐)

1通道浮子.jpg

1通道質(zhì)子.jpg

2通道浮子.JPG

2通道質(zhì)子.jpg

3通道浮子(防腐).jpg


相關(guān)產(chǎn)品
公司環(huán)境

23453[1].png   微信截圖_20220311162937.png

合肥科晶品牌紀(jì)錄片                                     公司環(huán)境

免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會(huì)造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差,請(qǐng)勿復(fù)制或者截圖。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù),請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請(qǐng)勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同,科晶公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請(qǐng)點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對(duì)大陸地區(qū)客戶,購買前請(qǐng)與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
附件

Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號(hào)-1     皖公網(wǎng)安備 34012302000974號(hào)