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1200℃ALD-PECVD管式爐系統(tǒng)
型號(hào):
ALD-1200X-4
產(chǎn)品概述:
ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng),包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長(zhǎng)納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。
免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會(huì)造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差,請(qǐng)勿復(fù)制或者截圖。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù),請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請(qǐng)勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同,科晶公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說(shuō)明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請(qǐng)點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對(duì)大陸地區(qū)客戶,購(gòu)買前請(qǐng)與工作人員溝通,以免給您帶來(lái)不便。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
控制面板

· 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制

· 兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥

· 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖查看控制面板(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

1.配備雙通道ALD氣閥

2.配備氣液混合系統(tǒng)

3.多種加熱區(qū)與質(zhì)子流量計(jì)規(guī)格可選

4.模塊化設(shè)計(jì),自由的搭建方案


ALD進(jìn)氣閥

兩個(gè)ALD脈沖電磁閥(最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉)

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精密液體氣相發(fā)生器

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣

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雙溫區(qū)管式爐

· 連續(xù)工作的最高溫度為1100℃

· 兩個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來(lái)控制,而且都為50段程序化控溫

· 每個(gè)加熱區(qū)長(zhǎng)度為200mm,加熱區(qū)總長(zhǎng)度為400mm

· 爐管兩端放置管堵時(shí)兩溫區(qū)的最大溫度差為500℃

· 輸入電壓:208-240V AC,單向

· 最大功率為4KW

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防腐型數(shù)顯真空計(jì)

· 測(cè)量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr

· 耐腐蝕

· 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性

· 可實(shí)現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測(cè),響應(yīng)時(shí)間較短

· 易于更換插頭及傳感元件

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真空泵(選配)

· 管內(nèi)真空度可達(dá)10-2Torr

· 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi),如您進(jìn)行CVD實(shí)驗(yàn)可點(diǎn)擊下圖選購(gòu)無(wú)油渦旋真空泵

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混氣系統(tǒng)?

· 可選購(gòu)氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng)

· 可選購(gòu)恒溫控制模塊

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更新觀念

· 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強(qiáng)原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PE-ALD+CVD)和等離子增強(qiáng)原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PE-ALD+PVD+CVD),用于生長(zhǎng)各類材料

· blob.png( PE-ALD+CVD)   blob.png  ( PE-ALD+PVD +CVD)


質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈)


質(zhì)量認(rèn)證

· 如您另付費(fèi)用,我們可保證單臺(tái)儀器通過TUVUL61010)或CSA認(rèn)證

  • Click to enlarge  


注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 點(diǎn)擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭

本公司有權(quán)隨時(shí)修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)不再另行通知,但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達(dá)到和超過上述標(biāo)準(zhǔn)


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