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1700℃質(zhì)子流量混氣高真空管式爐 (配50mm或80mm氧化鋁管,真空10^-4Torr,混氣2-4路可選)
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CVD、單溫區(qū)、二路質(zhì)子
型號:
GSL-1700X-HVC
產(chǎn)品概述:
GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,其最高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
GSL-1700X?系列管式爐

殼體         

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命             

· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失

· 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.

儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組

爐管

· 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管

· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

· (標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L

(選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

6KW

工作電壓

 AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

8 根1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

· 最高工作溫度.: 1650°C(<2h)(更新時間:19.12.10--JS2)


連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

≤5°C/min

加熱區(qū)長度

加熱區(qū)長度: 457 mm (18")

溫控系統(tǒng)

· 采用PID方式自動控制,并可設(shè)置50段升降溫程序

· 控溫精度: ±1°C                   

· 控溫儀表操作視頻

熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空法蘭

· 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

· 法蘭上帶有一機械壓力表

· 兩個精密針閥

· 一個KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口

一個1/4"卡套接頭

外形尺寸

550 x 380 x 520mm


高真空機組

功率         

100~110W

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

· 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

· 最大承載量:       600 Lbs on top

· 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示

內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

· 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,分子泵自動啟動) 

· 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

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抽氣速率

· N2     33 L/s

·  He     39 L/s   (2340L/minute)

H2   32 L/s

工作范圍

 1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (without any leaking )


質(zhì)量流量控制器

殼體          

· 采用 316不銹鋼制作                                                            

· 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  

· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

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功率

18W

工作電壓

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件


質(zhì)量認證

· 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證

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公司環(huán)境

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合肥科晶品牌紀(jì)錄片                                     公司環(huán)境

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