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1200℃1英寸雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)
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1英寸 雙溫區(qū)
型號:
OTF-1200X-S25-II-SL
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;觸屏式三路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。
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OTF-1200X-S25-II?-SL管式爐

爐體結(jié)構(gòu)

· 采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng)
 

· 爐底安裝一對滑軌,可滑動,內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

爐管尺寸

Φ25×1000mm

 功率    

1.2kW

輸入電壓

220VAC  單相  50/60Hz

加熱元件  

Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

最高溫度

最高1200 額定溫度  1100℃

升溫速率

≦10℃/min(推薦)

加熱區(qū)長度

· 兩個加熱區(qū)的長度都是100mm
 

· 分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制

控溫精度

±1℃

快速連接法蘭

· KF25不銹鋼真空法蘭
 

· 打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
 

· 另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架


真空系統(tǒng)(多種真空系統(tǒng)可選請點擊這里)

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

 最大承載量 

1000 Lbs 

抽氣速率

· 3L/S
 

· 極限真空度:10-1Pa
 

· 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

 電壓

220VAC  單相  50/60Hz

 功率

550/400W(單相/三相)


三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)(多路質(zhì)子流量器可選,詳情請點擊這里)

 針閥材質(zhì)

316不銹鋼

工作溫度

 5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件


質(zhì)量認證

· 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CSA認證


 

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使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
 

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
 

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
 

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃
 

對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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