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1200℃雙溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 (配80mm石英管和防腐真空計(jì))
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管徑80mm 真空泵 三路流量控制
型號(hào):
OTF-1200X-80-II-F3LV
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
殼體結(jié)構(gòu)

· 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽


功率

 2.5 KW


電壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz


加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo


最高工作溫度

1200 ℃


連續(xù)工作溫度

 1100 ℃


最大升溫速率

≤20 ℃ /min


爐管尺寸和材質(zhì)

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm


加熱區(qū)長度

· 兩個(gè)加熱區(qū):  每個(gè)溫區(qū)200 mm (8")  

總加熱區(qū)長度400 mm 


溫度控制器

· 兩個(gè)精密的溫度控制器,單獨(dú)的控制兩個(gè)溫區(qū)

· PID方式控制,通過PWM固體繼電器

· 5可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,可設(shè)置50段升降溫程序

· 帶有過熱和斷偶保護(hù)

控溫儀表操作視頻


控溫精度

+/- 1 ℃



真空密封系統(tǒng)

· 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表(圖片中的藍(lán)表為選配)閥門

· 真空度:通過機(jī)械泵真空度可以達(dá)到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想獲得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以達(dá)到10-5 torr.

·泄漏率< 5 m-torr/min(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

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真空泵

采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。


防腐型真空計(jì)

可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

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混氣系統(tǒng)

· 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。 

· 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min.  

· 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.  

· 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力    


閥門

四個(gè)不銹鋼閥門安裝移動(dòng)架的側(cè)面板上分別在三個(gè)氣體的入口處


尺寸

· 爐子: 550 x 380 x 520 

移動(dòng)架: 600x600x597


開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

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凈重

60KG 


運(yùn)輸重量

600 lbs


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件


質(zhì)量認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證   

使用注意事項(xiàng)

· ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

· ·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· ·石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃

·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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