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臺(tái)式四探針電阻率測(cè)試儀
型號(hào):
M-5
產(chǎn)品概述:
M-5臺(tái)式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性價(jià)比測(cè)量儀器。廣泛適用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校四探針法對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
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產(chǎn)品特征

測(cè)試儀由M-5型主機(jī)和四探針探頭以及快速恒壓四探針測(cè)試臺(tái)三部分組成


臺(tái)式設(shè)計(jì),帶完善厚度、形狀修正功能,測(cè)試精準(zhǔn)


寬量程:超寬五個(gè)檔位,相當(dāng)于中檔臺(tái)式機(jī)的量程


操作簡便、性能穩(wěn)定:輕觸數(shù)字化鍵盤實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換,LED數(shù)字表頭顯示


多款探頭可選,適用于各種不同材料的導(dǎo)電性能測(cè)試


工作電源

208-240V,50/60Hz


功率:20W


探頭

根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配:


碳化鎢探針探頭(固體材料):φ0.5mm,探針間距1.0mm,測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料(詳見圖1)


球形或平頭鍍金銅合金探針探頭(薄膜):φ0.7mm,探針間距2mm,可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜,也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底      上導(dǎo)電涂層膜,如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層(詳見圖2)


探頭頭部安裝有平衡基座避免人手操作的誤差(詳見圖3)

        

               圖1                                  圖2                                 圖3


選配

快速恒壓四探針測(cè)試臺(tái),對(duì)測(cè)試壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)保證恒壓測(cè)試,提高測(cè)試的精確度


測(cè)量范圍、分辨率

電阻:10-5~2*105Ω 分辨率:10-6~102 Ω


電阻率:10-5~2*105Ω-cm 分辨率:10-6~102 Ω-cm


方塊電阻:5*10-5~9*105Ω/m2  分辨率5*10-6~5*102Ω/m2


基本誤差

±1%FSB±2LSB

外形尺寸

220mm L × 245mm W × 100mm H

凈重

2.5kg

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終生維護(hù)

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