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膜厚監(jiān)測儀
型號:
EQ-TM106
產品概述:
EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
主要特點
  • 本機可與計算機連接。

  • 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM  

  • 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

  • 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。

  • 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。


EQ-TM106-1監(jiān)測組件
  • 電源:DC   5V(±10%),最大電流400mA

  • 頻率分辨率:±0.03Hz

  • 膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

  • 膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

  • 測量速度:100ms-1s/次,可設置

  • 測量范圍:500000?(鋁)

  • 標準傳感器晶體:6MHz

  • 計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8,停止位:1,校驗:無)

  • 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)

  • 工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

  • 外形尺寸:90mm×50mm×18mm


EQ-TM106-2顯示儀
  • 輸入電源:AC 220V±10%

  • 輸出電源:DC   5V  3A

  • 顯示器:12×2數碼管與LED

  • 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8位,停止位:1位  ,奇偶校驗:無)

  • 外形尺寸:182mm×65mm×160mm


EQ-TM106-3探頭
  • 適用晶片頻率:6MHz

  • 適用晶片尺寸:Φ14mm

  • 安裝法蘭:CF35

  • 冷卻水管:Φ3mm,長度300mm、500mm、1000mm

  • 冷卻水壓:<0.3MPa

  • 氣動擋板路管:Φ3mm

  • 壓縮空氣壓力:

  • 烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃

  • 電氣接口:BCN插座


標準配件

1EQ-TM106-1監(jiān)測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個

質保期

一年質保期,終身維護

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