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PPM級(jí)雙柱惰性氣體凈化器
型號(hào)：
PPM
產(chǎn)品概述：
GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器（一個(gè)用于除氧另一個(gè)用于除水），兩個(gè)凈化器用1/4”不銹鋼管和兩個(gè)針閥連接在一起，可以與任何科晶混氣系統(tǒng)連接。在室溫下，它將氣態(tài)雜質(zhì)降低到ppm級(jí)。它可將99.9%純度的惰性氣體如（氮、氦、氖、氬、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm，以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設(shè)備帶有加熱功能，可以加熱到300℃對(duì)除氧除水單位進(jìn)行再生，方便長(zhǎng)期循環(huán)使用。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

惰性氣體凈化系統(tǒng)-GPH-DHDO
產(chǎn)品特點(diǎn)

·輸入：輸入氣體純度要求：<1000 ppm（99.9％）

·輸出：清除雜質(zhì)至<0.1 ppm（O2≤0.1 ppm H2O，-76℃露點(diǎn)溫度）（請(qǐng)點(diǎn)擊此處轉(zhuǎn)換濕度單位）

·304L不銹鋼罐（<10 Ra EP）

·再生操作簡(jiǎn)單方便

·內(nèi)置數(shù)字溫度控制器和氣體流量計(jì)控制

·再生后可凈化多達(dá)80L惰性氣體

·設(shè)備需在270℃下再生（需使用5N純度的95％N2 + 5％H2氣體）
電源

·220v 50Hz

·功率：500W（加熱過(guò)程中）
最大壓力輸出

0.5MPa
工作溫度

室溫-300℃
氣體泄漏率

<2 x 10-9 atm cc/sec He
溫度控制器

控溫精度±1 oC
最大氣流

400mL/min
質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。


特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
使用提示

·您可以選購(gòu)精密質(zhì)子流量計(jì)，輸入氣體更加準(zhǔn)確（圖一）

·此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接（圖二）

     

    圖一                                 圖二
外形尺寸

445mm L X 400mm W X 190mm H
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