爐體結(jié)構(gòu) | 爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) l 用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層(可提高加熱效率和延長使用壽命) l 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,可延長使用壽命) l 開啟式的爐體設(shè)計,使更換爐管更加方便 l 可手動變更爐體模式為立式爐,用于樣品的吊燒和淬火 |
電壓&功率 | l 電壓:AC220V,50/60Hz l 最大功率:12KW |
工作溫度 | 最高工作溫度1200℃ 連續(xù)工作溫度1100℃ 1200℃<半小時 |
最大加熱速率 | 10℃/min |
石英管&管堵所放位置 | 爐管尺寸:OD: 100 mm×ID. 95mm×L2000mm 儀器中配有氧化鋁管堵,使用時必須放在石英管兩端(點擊圖片查看詳細(xì)資料) |
密封法蘭 | 設(shè)備中配有一套快捷開啟式密封法蘭(爐體兩端帶有支架,用于支撐法蘭) l 左端法蘭上安裝不銹鋼截止閥(用于通入氣體)和機(jī)械真空表 l 右端法蘭上安裝不銹鋼截止閥以及預(yù)留的KF25接頭(用于連接真空泵) |
真空度 | l 10E-3Torr(采用機(jī)械泵) l 10E-5Torr(采用分子泵) |
加熱區(qū) | l 10個溫區(qū),每個溫區(qū)長度為120mm l 總溫區(qū)長度: 1570mm(含絕熱層) 注意:可通過在溫區(qū)之間添加絕熱環(huán)來調(diào)節(jié)溫度梯度 |
溫控系統(tǒng) | l 控制柜與爐體分開,采用觸摸屏來操作來控制十個溫區(qū),每個溫區(qū)有獨立的控制通道。 l 每個控制通道可設(shè)置50段升降溫程序 l 設(shè)有超溫和斷偶保護(hù) l 控溫精度為:+/- 1 oC l 熱電偶:采用K型鎧裝熱電偶 l 控制面板上安裝有RS485接口,可連接電腦將數(shù)據(jù)導(dǎo)出 |
可選 | l 客戶可選購多通道質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng),用于和管式爐配合來做CVD實驗 l 可選購壓力控制系統(tǒng),來確保爐管內(nèi)氣壓恒定 |
產(chǎn)品尺寸 | 1980×1300×2500mm |
產(chǎn)品重量 | 200kg |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管、密封圈和加熱元件等損耗件) |
質(zhì)量認(rèn)證 | 若客戶出認(rèn)證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
使用注意事項 | l 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa l 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 l 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) l 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 l 石英管的長時間使用溫度≤1100℃ l 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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